一种阴极旋转靶机安装结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种阴极旋转靶机安装结构，其包括第一靶机、第二靶机、腔体、基板、传输轮、支架底座和门板，所述基板和传输轮安装在腔体内，基板设置在传输轮上方，所述腔体安装在支架底座上，所述第一靶机和第二靶机与腔体通过门板连接，所述门板的平面开孔尺寸和锁付尺寸一致。通过设计两个靶机，且门板的平面开孔尺寸和锁付尺寸一致，即可以实现由下往上镀膜及由上往下镀膜的阴极靶机同方向安装和保养，使用者可依工艺需求随意切换完成正面镀、背面镀或双面同时镀，一机多用途，创造传统型的不可能效果。型的不可能效果。型的不可能效果。

【技术实现步骤摘要】
一种阴极旋转靶机安装结构


[0001]本技术涉及太阳能电池制备领域，尤其一种阴极旋转靶机安装结构。

技术介绍

[0002]目前在太阳能电池制备领域中，物理气相沉积(PVD)真空设备中的下往上镀膜阴极靶机一般采用的传统安装方式，即其仅仅只能由设备下面安装并由设备下面拆卸；如果要在单一物理气相沉积(PVD)真空设备上一次性的完成基板双面镀膜工艺(往上镀/往下镀)，必须在设备上面及下面个别装置传统旋转靶机，因此，当双面镀膜时，势必需要在设备两侧配置吊装设备及足够的空间才能进行装配及维修，增加设备费用，浪费维修空间、时间及多余人力，安装及维修也必须个别由设备上面及设备下面两个不同方向吊装，这样的安装方式直接性的限制了设备空间及维修时间，更直接左右整体设备及无尘厂房规划的成本。

技术实现思路

[0003]为解决现有技术中的缺陷，本技术提供了一种阴极旋转靶机安装结构，其结构简单，可以进行同一方向的维修保养吊装，让维修保养更安全快速、且节省人力。
[0004]为实现上述目的，本技术采用以下设计方案：一种阴极旋转靶机安装结构，其包括第一靶机、第二靶机、腔体、基板、传输轮、支架底座和门板，所述基板和传输轮安装在腔体内，基板设置在传输轮上方，所述腔体安装在支架底座上，所述第一靶机和第二靶机与腔体通过门板连接，所述门板的平面开孔尺寸和锁付尺寸一致。
[0005]优选的，第一靶机和第二靶机并列设置在腔体上方。
[0006]优选的，其还包括第一吊环、第二吊环，所述第一靶机吊设在第一吊环上，所述第二靶机吊设在第二吊环上。
[0007]本技术采用以上技术方案，通过设计两个靶机，且门板的平面开孔尺寸和锁付尺寸一致，即可以实现由下往上镀膜及由上往下镀膜的阴极靶机同方向安装和保养，使用者可依工艺需求随意切换完成正面镀、背面镀或双面同时镀，一机多用途，创造传统型的不可能效果。本技术在有限的维修保养时间里，由下往上镀膜靶机的保养可直接由设备上方吊装，对此更简易方便的吊装是设备产能稳定的重要关键；此新专利技术即是在解决传统型的效率问题，实现了靶机同一方向的维修保养吊装，让维修保养更安全更快速、省人力。
附图说明
[0008]下面结合附图对本技术进行进一步说明：
[0009]图1为本技术阴极旋转靶机安装结构实施例1的结构示意图；
[0010]图2为本技术阴极旋转靶机安装结构实施例2的结构示意图；
[0011]图3为本技术阴极旋转靶机安装结构实施例3的结构示意图。
具体实施方式
[0012]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0013]实施例1
[0014]如图1所示，本技术公开了一种阴极旋转靶机安装结构，其包括第一靶机1、第二靶机2、腔体3、基板4、传输轮5、支架底座6、门板7，所述基4和传输轮5安装在腔体3内，基板4设置在传输轮5上，所述腔体3安装在支架底座6上，所述第一靶机1和第二靶机2与腔体37通过门板连接，所述门板7的平面开孔尺寸和锁付尺寸一致。所述第一靶机1和第二靶机2并列设置在腔体3上方。8其还包括第一吊环、第二吊环91，所述第一靶机吊设在第一吊环上8，所述第二靶机2吊设在第二吊环9上。在本实施例中当物理气象沉积溅镀设备需要安装由上往下打靶机及由下往上打靶机时这两种不同溅镀方向的溅镀靶机均可由设备上方之同一方向进行安装吊挂或维修保养。
[0015]实施例2
[0016]如图2所示，与实施例1不同的是当物理气象沉积溅镀设备需要安装由下往上镀膜之靶机时，此靶机可以直接与由上往下镀膜之靶机一样，直接由设备上面安装吊挂或维修保养。
[0017]实施例3
[0018]如图3所示，当物理气象沉积溅镀设备因产品需求不同，可以将原本靶位装置的由下往上镀膜之靶机更换为由上往下镀膜之靶机；也就是可依产品需求随意在设备靶位上装置由上往下镀膜靶机或由下往上镀膜靶机。
[0019]本安装设计克服了以往物理气象沉积溅镀设备，由下往上镀膜阴极靶机一贯从设备下方安装之安装的方式。克服了以往物理气象沉积溅镀设备对于规划由下往上镀膜阴极靶形成设备空间、设备制造成本及厂房面积一直高居不下。克服了以往物理气象沉积溅镀设备规划之靶机安装及维修无法同一侧快速且便利吊装。克服了以往物理气象沉积溅镀设备无法实践之一机上/下镀膜之靶机共享设备靶位镀膜。
[0020]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阴极旋转靶机安装结构，其特征在于:其包括第一靶机、第二靶机、腔体、基板、传输轮、支架底座和门板，所述基板和传输轮安装在腔体内，基板设置在传输轮上方，所述腔体安装在支架底座上，所述第一靶机和第二靶机与腔体通过门板连接，所述门板的平面开孔尺寸和锁付尺寸一致...

【专利技术属性】
技术研发人员：张延任，张建德，王俊尧，王树林，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：新型
国别省市：