本实用新型专利技术属于镀膜设备技术领域，公开了一种改进型离子束表面镀膜用装置，包括箱体，所述箱体的内部安装有溅射枪，所述箱体的一侧设置有第三电机，所述第三电机的一侧通过链条转动连接有辊轴，所述箱体的内部开设有第一真空腔、第二真空腔、第三真空腔，所述第一真空腔的内部设置有靶材，所述第二真空腔与所述第三真空腔的顶部分别通过铰链转动连接有密封盖，所述箱体的内部安装有控制器；本实用新型专利技术设置了安装板，安装板通过第五电机可以带动靶材旋转，安装板通过第四电机可以调整靶材的倾斜角度，以防止溅射枪长期击打在靶材的一个位置进而导致靶材的损耗不均匀，影响到覆膜的效果，提高了本装置覆膜的质量。提高了本装置覆膜的质量。提高了本装置覆膜的质量。
【技术实现步骤摘要】
一种改进型离子束表面镀膜用装置
[0001]本技术属于镀膜设备
，具体涉及一种改进型离子束表面镀膜用装置。
技术介绍
[0002]覆膜机，主要指一类需要在较高真空度下进行的覆膜，主要是分成蒸发和溅射两种，需要覆膜的被称为基片，覆膜的材料被称为靶材。
[0003]但是现有的覆膜机在长期使用后由于溅射枪长时间击打在靶材的同一个位置，进而容易导致靶材损耗不均匀，影响覆膜的效果，并且在更换完需要覆膜的产品时需要将真空腔重新抽至真空，导致了装置的覆膜效率不够高。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种改进型离子束表面镀膜用装置，以解决现有的靶材损耗不均匀与覆膜效率不高的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种改进型离子束表面镀膜用装置，包括箱体，所述箱体的内部安装有溅射枪，所述箱体的一侧设置有第三电机，所述第三电机的一侧通过链条转动连接有辊轴，所述箱体的内部开设有第一真空腔、第二真空腔、第三真空腔，所述第一真空腔的内部设置有靶材，所述第二真空腔与所述第三真空腔的顶部分别通过铰链转动连接有密封盖，所述箱体的内部安装有控制器，所述控制器的下方设置有真空泵，所述真空泵通过真空管分别与第一真空腔、第二真空腔、第三真空腔为固定连接，所述箱体的顶部安装有固定座，所述固定座的顶部分别设置有第一电机与第二电机，所述第一电机与所述第二电机的底部分别转动连接有螺杆，所述螺杆的外部设置有隔板，所述隔板与箱体为滑动连接。
[0006]优选的，所述第一真空腔内部的顶部转动连接有安装板，所述安装板的顶部安装有第五电机，所述第五电机的顶部转动连接有齿轮，所述安装板顶部远离第五电机的一侧设置有第四电机，所述第四电机的底部转动连接有螺杆，所述螺杆的外部设置有固定块，所述固定块的一侧滑动连接有固定杆，所述固定杆与安装板为固定连接，所述固定块的一侧固定连接有球形接头，所述固定块通过球形接头与靶材转动连接。
[0007]优选的，所述箱体的顶部固定连接有凸棱，所述凸棱与密封盖为卡合连接。
[0008]优选的，所述第一真空腔、密封盖的内部分别设置有观察窗，所述观察窗共设置有四个。
[0009]优选的，所述密封盖的一侧设置有把手，所述把手与密封盖为固定连接。
[0010]优选的，所述箱体的底部安装有行走轮，所述行走轮共设置有四个。
[0011]本技术与现有技术相比，具有以下有益效果：
[0012](1)本技术设置了安装板，安装板通过第五电机可以带动靶材旋转，安装板通过第四电机可以调整靶材的倾斜角度，以防止溅射枪长期击打在靶材的一个位置进而导致
靶材的损耗不均匀，影响到覆膜的效果，提高了本装置覆膜的质量。
[0013](2)本技术设置了第二真空腔与第三真空腔，使用时将需要覆膜的材料放置在第二真空腔或第三真空腔中，并在将第二真空腔或第三真空腔抽成真空后再通过辊轴将其移至第一真空腔的内部，紧接着通过隔板将第一真空腔封闭，进而避免需要将第一真空腔内部重新抽至真空，提高了本装置的覆膜效率。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术第一真空腔的仰视图；
[0016]图3为本技术第一真空腔的剖视图；
[0017]图4为本技术的俯视图；
[0018]图5为本技术的A处放大图；
[0019]图中：1、箱体；2、控制器；3、真空泵；4、行走轮；5、第一真空腔；6、第一电机；7、密封盖；8、第二电机；9、固定座；10、齿轮；11、第二真空腔；12、第三真空腔；13、凸棱；14、观察窗；15、螺杆；16、第三电机；17、把手；18、第四电机；19、第五电机；20、安装板；21、球形接头；22、靶材；23、固定块；24、固定杆。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1
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图5所示，本技术提供如下技术方案：一种改进型离子束表面镀膜用装置，包括箱体1，箱体1的内部安装有溅射枪，箱体1的一侧设置有第三电机16，第三电机16的一侧通过链条转动连接有辊轴，箱体1的内部开设有第一真空腔5、第二真空腔11、第三真空腔12，第一真空腔5的内部设置有靶材22，第二真空腔11与第三真空腔12的顶部分别通过铰链转动连接有密封盖7，箱体1的内部安装有控制器2，控制器2的下方设置有真空泵3，真空泵3通过真空管分别与第一真空腔5、第二真空腔11、第三真空腔12为固定连接，箱体1的顶部安装有固定座9，固定座9的顶部分别设置有第一电机6与第二电机8，第一电机6与第二电机8的底部分别转动连接有螺杆，螺杆的外部设置有隔板，隔板与箱体1为滑动连接；溅射枪、真空泵3、第一电机6、第二电机8、第三电机16均与控制器2为电性连接。
[0022]进一步的，第一真空腔5内部的顶部转动连接有安装板20，安装板20的顶部安装有第五电机19，第五电机19的顶部转动连接有齿轮10，安装板20顶部远离第五电机19的一侧设置有第四电机18，第四电机18的底部转动连接有螺杆15，螺杆15的外部设置有固定块23，固定块23的一侧滑动连接有固定杆24，固定杆24与安装板20为固定连接，固定块23的一侧固定连接有球形接头21，固定块23通过球形接头21与靶材22转动连接；第四电机18、第五电机19均与控制器2为电性连接。
[0023]更进一步的，箱体1的顶部固定连接有凸棱13，凸棱13与密封盖7为卡合连接；通过设置凸棱13以提高密封盖7的密封效果。
[0024]具体的，第一真空腔5、密封盖7的内部分别设置有观察窗14，观察窗14共设置有四个；通过观察窗14可以观察到装置内部的覆膜情况。
[0025]值得说明的是，密封盖7的一侧设置有把手17，把手17与密封盖7为固定连接；通过设置把手17以便于打开密封盖7。
[0026]进一步的，箱体1的底部安装有行走轮4，行走轮4共设置有四个；行走轮4为万向轮，通过设置行走轮4以便于移动本装置。
[0027]本技术的工作原理及使用流程：使用时，首先通过把手17打开密封盖7，然后将需要覆膜的产品放置在第三真空腔12的内部，接着关闭密封盖7并通过真空泵3将第一真空腔5、第二真空腔11、第三真空腔12的内部抽至真空，然后启动第三电机16，第三电机16通过带动辊轴旋转将产品移动至第一真空腔5的内部并对其进行覆膜，第五电机19通过带动齿轮10旋转可以使靶材22转动，以调整靶材22的朝向，第四电机18通过带动螺杆15旋转可以使固定块23上下移动，进而调整靶材22的倾斜角度，在产品覆膜完成后通过辊轴将产品移动至第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种改进型离子束表面镀膜用装置，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)的内部安装有溅射枪，所述箱体(1)的一侧设置有第三电机(16)，所述第三电机(16)的一侧通过链条转动连接有辊轴，所述箱体(1)的内部开设有第一真空腔(5)、第二真空腔(11)、第三真空腔(12)，所述第一真空腔(5)的内部设置有靶材(22)，所述第二真空腔(11)与所述第三真空腔(12)的顶部分别通过铰链转动连接有密封盖(7)，所述箱体(1)的内部安装有控制器(2)，所述控制器(2)的下方设置有真空泵(3)，所述真空泵(3)通过真空管分别与第一真空腔(5)、第二真空腔(11)、第三真空腔(12)为固定连接，所述箱体(1)的顶部安装有固定座(9)，所述固定座(9)的顶部分别设置有第一电机(6)与第二电机(8)，所述第一电机(6)与所述第二电机(8)的底部分别转动连接有螺杆，所述螺杆的外部设置有隔板，所述隔板与箱体(1)为滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种改进型离子束表面镀膜用装置，其特征在于：所述第一真空腔(5)内部的顶部转动连接有安装板(20)，所述安装板(20)的顶部安装有第五电机(19)，所述第五电机(19)的顶部转动...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄成日，池连花，许宜科，
申请(专利权)人：山东艾酷博纳米材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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