【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光伏生产设备领域，具体涉及一种真空设备及真空阀门装置。
技术介绍
1、太阳能电池是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片，又称为“太阳能芯片”或“光电池”，它只要被满足一定照度条件的光照度，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。在物理学上称为太阳能光伏(photovoltaic，缩写为pv)，简称光伏。
2、pvd(physical vapor deposition)设备是一种利用物理气相沉积技术在真空环境中沉积各种材料的设备。pvd设备主要用于在基材上形成一层均匀光滑的薄膜层，这种技术不依赖于化学试剂，因此不会产生环境污染，是一种绿色环保的工艺。
3、在太阳能电池生产过程中，需要使用pvd设备在硅片的表面制作薄膜层。随着现有的硅片外形尺寸不断加大，pvd设备的单个真空腔体的外形尺寸不断的加大，对应的真空阀门外形尺寸也不断在加大。因此，封合的阀板的长宽尺寸也不断加大，加大尺寸后的阀门存在安装调试密封难度大，腔体阀口处的法兰变形量大，阀门封合后存在漏真空等问题。并且现有的pvd设备或其他真空设备上的门阀，均存在使用一段时间或者改变腔体的温度时阀门出现漏气的问题。在现有技术中，当阀门的阀板出现变形或者阀口的封合面出现变形的时候，无法调节阀板自身去适应这个变形，从而导致整套阀门出现漏气。当阀板长度加长的时候，阀板或者阀口出现变形导致真空密封泄露的问题就越为明显。因此，如何提高pvd设备等真空设备的阀门的真空密封性，就成为本领域亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，本申请提供了一种真空设备的真空阀门装置，用于解决上述真空设备的阀板变形或阀口的封合面变形，导致阀门真空泄露的技术问题。
2、为实现上述目的，专利技术人提供了一种真空设备的真空阀门装置，用于封盖真空设备的真空腔体上的阀口，所述真空阀门装置包括：阀板、旋转轴和两个以上的平衡弹簧；
3、所述阀板与所述阀口相对设置，且通过连接臂连接于所述旋转轴，所述旋转轴周向旋转以驱动所述阀板相对所述阀口盖合或打开；
4、所述连接臂与所述阀板通过铰接轴旋转铰接，且所述铰接轴旋转方向的两侧分别设置有所述平衡弹簧，在所述阀板盖合所述阀口的过程中，所述平衡弹簧的两端分别与所述连接臂以及所述阀板相抵，所述平衡弹簧抵消所述阀板因重力而产生的旋转力矩，使所述密封圈的上部和下部同时接触所述阀口封合面。
5、进一步的，所述平衡弹簧的一端设置有松紧螺栓，所述松紧螺栓用于调整所述平衡弹簧的预张紧量。
6、进一步的，所述阀板靠近所述阀口的一侧设置有用于密封所述阀口封合面的密封圈。
7、进一步的，所述阀板靠近所述连接臂的表面设置有阀板连接座，所述阀板连接座的中部设置有用于与所述铰接轴旋转连接的连接部；
8、所述阀板连接座上设置有两个以上的调整螺栓，所述调整螺栓用于调整所述阀板连接座与所述阀板之间的平面度，所述平面度用于补偿所述阀口封合面的变形量和/或所述阀板自身的平面度变形量。
9、进一步的，所述阀板连接座通过锁紧螺栓与所述阀板固定连接，所述锁紧螺栓与所述调整螺栓同轴设置。
10、进一步的，所述阀板连接座的四角分别设置有所述调整螺栓，所述铰接轴旋转方向的两侧各设置有一个所述平衡弹簧。
11、进一步的，所述旋转轴的沿轴线设置有两个以上的旋转轴固定座，所述旋转轴的两端分别设置有旋转力臂，所述旋转力臂连接于动力气缸，所述动力气缸通过所述旋转力臂驱动所述旋转轴旋转。
12、进一步的，所述真空设备为pvd设备，所述阀板设置于所述真空腔体的真空侧或大气侧；
13、当阀板设置于所述真空侧时，阀板组由磁流体固定，用于真空旋转和真空密封。
14、为解决上述技术问题，本申请还提供了另一技术方案：
15、一种真空设备，包括真空阀门装置，所述真空阀门装置用于封盖真空设备的真空腔体上的阀口，所述真空阀门装置为以上技术方案中任意一项所述的真空设备的真空阀门装置。
16、区别于现有技术，上述技术方案阀板通过铰接轴与连接臂旋转铰接，并且在铰接轴旋转方向的两侧分别设置有平衡弹簧，平衡弹簧的两端分别与连接臂以及所述阀板相抵，在阀板盖合过程中，所述平衡弹簧抵消所述阀板因重力而产生的旋转力矩，使所述密封圈的上部和下部同时接触所述阀口封合面，避免阀板上的密封圈局部发生先接触并发生滑动摩擦而磨损或变形。
17、上述
技术实现思路
相关记载仅是本申请技术方案的概述，为了让本领域普通技术人员能够更清楚地了解本申请的技术方案，进而可以依据说明书的文字及附图记载的内容予以实施，并且为了让本申请的上述目的及其它目的、特征和优点能够更易于理解，以下结合本申请的具体实施方式及附图进行说明。
【技术保护点】
1.一种真空设备的真空阀门装置，用于封盖真空设备的真空腔体上的阀口，其特征在于，所述真空阀门装置包括：阀板、旋转轴和两个以上的平衡弹簧；
2.根据权利要求1所述的真空设备的真空阀门装置，其特征在于，所述平衡弹簧的一端设置有松紧螺栓，所述松紧螺栓用于调整所述平衡弹簧的预张紧量。
3.根据权利要求1或2所述的真空设备的真空阀门装置，其特征在于，所述阀板靠近所述阀口的一侧设置有用于密封所述阀口封合面的所述密封圈。
4.根据权利要求1所述的真空设备的真空阀门装置，其特征在于，所述阀板靠近所述连接臂的表面设置有阀板连接座，所述阀板连接座的中部设置有用于与所述铰接轴旋转连接的连接部；
5.根据权利要求4所述的真空设备的真空阀门装置，其特征在于，所述阀板连接座通过锁紧螺栓与所述阀板固定连接，所述锁紧螺栓与所述调整螺栓同轴设置。
6.根据权利要求5所述的真空设备的真空阀门装置，其特征在于，所述阀板连接座的四角分别设置有所述调整螺栓，所述铰接轴旋转方向的两侧各设置有一个所述平衡弹簧。
7.根据权利要求1所述的真空设备的真空阀门
8.根据权利要求7所述的真空设备的真空阀门装置，其特征在于，所述真空设备为PVD设备，所述阀板设置于所述真空腔体的真空侧或大气侧；
9.一种真空设备，包括真空阀门装置，所述真空阀门装置用于封盖真空设备的真空腔体上的阀口，其特征在于，所述真空阀门装置为权利要求1至8中任意一项所述的真空设备的真空阀门装置。
...【技术特征摘要】
1.一种真空设备的真空阀门装置，用于封盖真空设备的真空腔体上的阀口，其特征在于，所述真空阀门装置包括：阀板、旋转轴和两个以上的平衡弹簧；
2.根据权利要求1所述的真空设备的真空阀门装置，其特征在于，所述平衡弹簧的一端设置有松紧螺栓，所述松紧螺栓用于调整所述平衡弹簧的预张紧量。
3.根据权利要求1或2所述的真空设备的真空阀门装置，其特征在于，所述阀板靠近所述阀口的一侧设置有用于密封所述阀口封合面的所述密封圈。
4.根据权利要求1所述的真空设备的真空阀门装置，其特征在于，所述阀板靠近所述连接臂的表面设置有阀板连接座，所述阀板连接座的中部设置有用于与所述铰接轴旋转连接的连接部；
5.根据权利要求4所述的真空设备的真空阀门装置，其特征在于，所述阀板连接座通过锁紧螺栓与所述阀板固定连接，所述锁紧螺栓与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：赖礼铭，刘义军，郭礼贤，徐尔强，黄致伟，黄湘彬，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：发明
国别省市：
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