一种镀制线性衰减片的可变夹具结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种镀制线性衰减片的可变夹具结构，包括：溅射镀膜设备，以及设置在所述溅射镀膜设备内的真空室，包括：设置在所述真空室内的基片；设置在所述真空室内，用于转动所述基片的主轴；设置在所述基片上，用于遮挡所述基片的第一遮板和第二遮板；以及用于调整所述第一遮板和所述第二遮板遮挡角度的凸轮。所述主轴上固定有底板；所述基片通过所述基片压板固定在所述底板上。所述真空室内固定有遮板支架，所述遮板支架包括：两个固定板，两个所述固定板的左端活动串联在一起。能够有效解决溅射镀膜时，每次因为镀制不同的衰减片而需要制作不同形状的遮板的问题。而需要制作不同形状的遮板的问题。而需要制作不同形状的遮板的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种镀制线性衰减片的可变夹具结构


[0001]本技术涉及一种镀制线性衰减片的可变夹具结构。

技术介绍

[0002]可调光衰减器(Variable Optical Attenuator，VOA)在光通信中具有广泛的应用，其可以解决功率匹配、信道衰减增益，接收机匹配等问题，特别是随着DWDM传输系统和EDFA在光通信中的应用，在多个光信号传输通道上必须进行增益平坦化或信道功率均衡，在光接收机端要进行动态饱和的控制，这些都使得VOA成为其中不可或缺的关键器件。根据实现原理的不同，可变光衰减器(VOA)的实现方案主要有机械技术、磁光技术、热光技术、电光技术和微机械技术等几种，机械式光衰减器是较为传统的解决方案，到目前为止已在系统中应用的大多是用机械的方法来达到衰减，该类型的光衰减器具有工艺成熟，光学特性好，插损低，偏振相关损耗小，无需温控等优点。
[0003]对于机械式光衰减器其核心部件衰减片一般是采用在玻璃基底上通过溅射或热蒸发一层或多层金属膜而制备的，采用这种方法只能获得衰减值固定的衰减片并且衰减量由金属膜的厚度所决定，为了得到不同的衰减量必须沉积不同厚度的金属膜，制备工艺较繁复，工艺的重复性也必然导致衰减量发生波动变化，这些缺点给此种类型的固定衰减器在实际应用中带来了诸多不便，每次镀制不同的衰减片需要制作不同形状的遮板，溅射速率和沉积孔的相互影响不好掌控。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术的缺陷而提供一种镀制线性衰减片的可变夹具结构，能够有效解决
技术介绍
中溅射镀膜时，每次因为镀制不同的衰减片而需要制作不同形状的遮板的问题。
[0005]实现上述目的的技术方案是：一种镀制线性衰减片的可变夹具结构，包括：溅射镀膜设备，以及设置在所述溅射镀膜设备内的真空室，还包括：
[0006]设置在所述真空室内的基片；
[0007]设置在所述真空室内，用于转动所述基片的主轴；
[0008]设置在所述基片上，用于遮挡所述基片的第一遮板和第二遮板；以及
[0009]用于调整所述第一遮板和所述第二遮板遮挡角度的凸轮。
[0010]进一步的，所述主轴上固定有底板；所述基片通过所述基片压板固定在所述底板上。
[0011]进一步的，所述真空室内固定有遮板支架，所述遮板支架包括：两个固定板，两个所述固定板的左端活动串联在一起；上侧的所述固定板的下表面与所述第一遮板上左上侧角的位置固定，下侧的所述固定板的上表面与所述第二遮板上左下侧角的位置固定；所述第一遮板和所述第二遮板上表面齐平。
[0012]进一步的，所述第一遮板和所述第二遮板上右侧分别固定有支杆，两个所述支杆
对称设置；两个所述支杆的右侧分别固定有定滑轮；所述凸轮活动夹持在两个所述定滑轮之间。
[0013]进一步的，还包括：弹簧，所述弹簧的两端分别固定在两个所述支杆上。
[0014]进一步的，所述凸轮中部向下竖直固定有传动杆，所述传动杆与电机输出轴固定，所述电机固定在所述真空室内。
[0015]进一步的，所述第一遮板上左上侧角位置和所述第二遮板上左下侧角的位置分别向内开设有一豁角。
[0016]本技术的有益效果是：通过设置传动杆，用于转动凸轮，使得凸轮可以控制的改变第一遮板和第二遮板之间的开合；通过设置凸轮，用于改变第一遮板和第二遮板之间的开合大小；通过设置弹簧，使得第一遮板和第二遮板之间存在一定的张力，使得第一遮板和第二遮板张开后可以受力回正；通过设置第一遮板和第二遮板，用于遮挡基片，使得基片从中心到外沿沉积的薄膜厚度逐渐变少，在基片上就可以得到厚度渐变的金属膜层；通过设置主轴，用于带动基片旋转，从而保证底板上各个位置的基片沉积的薄膜厚度均匀一致，从而可以一次生产多个衰减片。
附图说明
[0017]图1是本技术镀制线性衰减片的可变夹具结构的外部结构示意图；
[0018]图2是本技术镀制线性衰减片的可变夹具结构的俯视图；
[0019]图3是本技术中镀制的20dB衰减片的衰减特性曲线示意图；
[0020]图4是本技术中镀制的35dB衰减片的衰减特性曲线示意图；
[0021]图5是本技术中镀制的65dB衰减片的衰减特性曲线示意图。
[0022]附图标记：1、传动杆，2、凸轮，3、定滑轮，4、弹簧，5、遮板支架，6、第一遮板，7、第二遮板，8、支杆，9、主轴，10、底板，11、基片压板，12、基片。
具体实施方式
[0023]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
[0024]下面将结合附图对本技术作进一步说明。
[0025]参考图1
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2，本技术是一种镀制线性衰减片的可变夹具结构，包括：溅射镀膜设备，以及设置在所述溅射镀膜设备内的真空室，还包括：
[0026]设置在所述真空室内的基片12；
[0027]设置在所述真空室内，用于转动所述基片12的主轴9；所述主轴9上固定有底板10；所述基片12通过所述基片压板11固定在所述底板10上；通过设置所述主轴9，用于带动所述基片12旋转，从而保证底板上各个位置的所述基片12沉积的薄膜厚度均匀一致，从而可以一次生产多个衰减片；
[0028]设置在所述基片12上，用于遮挡所述基片12的第一遮板6和第二遮板7；通过设置所述第一遮板6和所述第二遮板7，用于遮挡所述基片12，使得所述基片12从中心到外沿沉积的薄膜厚度逐渐变少，在所述基片12上就可以得到厚度渐变的金属膜层；用于调整所述第一遮板6和所述第二遮板7遮挡角度的凸轮2；通过设置所述凸轮2，用于改变所述第一遮板6和所述第二遮板7之间的开合大小；所述真空室内固定有遮板支架5，所述遮板支架5包括：两个固定板，两个所述固定板的左端活动串联在一起；上侧的所述固定板的下表面与所述第一遮板6上左上侧角的位置固定，下侧的所述固定板的上表面与所述第二遮板7上左下侧角的位置固定；所述第一遮板6和所述第二遮板7上表面齐平；所述第一遮板6和所述第二遮板7上右侧分别固定有支杆8，两个所述支杆8对称设置；两个所述支杆8的右侧分别固定有定滑轮3；所述凸轮2活动夹持在两个所述定滑轮3之间；还包括：弹簧4，所述弹簧4的两端分别固定在两个所述支杆8上；通过设置所述弹簧4，使得所述第一遮板6和所述第二遮板7之间存在一定的张力，使得所述第一遮板6和所述第二遮板7张开后可以受力回正；所述凸轮2中部向下竖直固定有传动杆1，所述传动杆1与电机输出轴固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀制线性衰减片的可变夹具结构，包括：溅射镀膜设备，以及设置在所述溅射镀膜设备内的真空室，其特征在于，还包括：设置在所述真空室内的基片(12)；设置在所述真空室内，用于转动所述基片(12)的主轴(9)；设置在所述基片(12)上，用于遮挡所述基片(12)的第一遮板(6)和第二遮板(7)；以及用于调整所述第一遮板(6)和所述第二遮板(7)遮挡角度的凸轮(2)。2.根据权利要求1所述的一种镀制线性衰减片的可变夹具结构，其特征在于，所述主轴(9)上固定有底板(10)；所述基片(12)通过一基片压板(11)固定在所述底板(10)上。3.根据权利要求1所述的一种镀制线性衰减片的可变夹具结构，其特征在于，所述真空室内固定有遮板支架(5)，所述遮板支架(5)包括：两个固定板，两个所述固定板的左端活动串联在一起；上侧的所述固定板的下表面与所述第一遮板(6)上左上侧角的位置固定，下侧的所述固定板的上表面与所述第二遮板(7)上左...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆锦惠，张金寨，
申请(专利权)人：上海鸿辉光联通讯技术有限公司，
类型：新型
国别省市：