一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备，主要包括外框、电热器、真空机、过滤器和基板架，所述外框顶端中部固定安装有顶壳，顶壳内侧固定安装有电热器，电热器底端装配安装有原料盒，所述外框左侧转动安装有密封门。本实用新型专利技术涉及一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备，通过内设的灵活基板架，配合紧凑的驱动机械结构，导电结构位于内部，避免外部元素的腐蚀，适应稳定好，镀膜均匀性好，自身寿命有保证，过滤器在抽真空时周期，可以保证滤芯外表面的清洁，避免堵塞，且不需要单独外接驱动设备，对真空设备的做功进行充分利用，更加节能，产生的薄膜真身的屏蔽能力好，自身保护完善。善。善。

【技术实现步骤摘要】
一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备


[0001]本技术涉及ITO膜制造设备领域，具体是一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备。

技术介绍

[0002]ITO薄膜是一种n型半导体材料，具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性。它是液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、电致发光显示器 (EL/OLED)、触摸屏(TouchPanel)、太阳能电池以及其他电子仪表的透明电极最常用的薄膜材料，在进行ITO薄膜加工时，多采用磁控溅射方法进行镀膜。
[0003]现有的镀膜设备的结构简陋，自身结构固定，且基板自身的温度低或者温度不均匀，会造成镀膜均匀性差，同时结构的自净能力差，真空排气速率慢，会影响镀膜进度，且镀膜的工艺差，镀膜的屏蔽效能差，且自身的自我能力不足，影响透光度。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备，主要包括外框、电热器、真空机、过滤器和基板架，所述外框顶端中部固定安装有顶壳，顶壳内侧固定安装有电热器，电热器底端装配安装有原料盒，所述外框左侧转动安装有密封门，所述外框前后侧壁贯穿固定安装有电机座，所述外框底端固定安装有底框，底框底端固定安装有检修板，所述底框顶端固定安装有压环，压环与底框之间压接安装有转盘，转盘内侧边缘处贯穿安装有绝缘套，绝缘套内侧转动安装有基板架，基板架底端固定安装有齿轮，所述底框内侧下部固定安装有下齿圈，下齿圈与齿轮啮合连接，所述检修板顶端中部固定安装有控温供电器，控温供电器顶端固定安装有中管，中管外侧转动安装有绝缘环，绝缘环外壁与转盘中部内壁固定连接，所述绝缘环内部嵌设固定安装有上下排列的总供电环，总供电环外侧套设转动安装有总导电环，总导电环与总供电环电性转动连接，所述总导电环侧壁通过线束固定安装有导电环，导电环套设安装在基板架外侧下部，所述转盘底端固定安装有内齿环，所述检修板顶端左部固定安装有电机，电机通过外接齿轮与内齿环啮合连接；
[0007]所述外框右侧上部开设有通口，所述外框右侧上部外壁固定安装有引风壳，引风壳内部固定安装有滑套，滑套中部滑动安装有滑杆，滑杆顶端固定安装有顶板，顶板顶端中部固定安装有配重块，配重块底端中部固定安装有波纹管，波纹管底端侧壁固定连接引风壳顶端中部侧壁，所述引风壳顶端贯穿固定安装有波纹管配合的供气头，供气头右端通过管道固定连接有电磁阀，所述引风壳底端侧壁开设有通风孔，所述引风壳底端固定安装有过滤器，过滤器顶端固定安装有真空机，真空机的排风口通过管道与电磁阀底端开口导通，所述滑杆底端固定连接过滤器。
[0008]一种高屏蔽效能ITO膜的制造工艺，包括以下步骤：
[0009]1)将电镀原料放在原料盒中，采用电热器通电，使高能电流通过电镀原料混合料，使其升华；
[0010]2)将基板放在载板上，通过卡块将基板夹紧，将密封门关紧；
[0011]3)在外接控制设备上进行镀膜预设，采用周期膜系，预先设定每层厚度，使其正好为设计波长的1/4的倍数，通过计算的到低反射率的必须折射率值，简化镀膜对厚度的控制操作。屏蔽效果随方电阻的减少而增加，方电阻的数值与ITO膜层的电阻率和膜厚有关，其中电阻＝电阻率/膜厚。
[0012]4)通过抽真空后，多次沉淀将电镀原料沉积在衬底上形成ITO膜，膜层采用 AL2O3‑
ITO
‑
MgF2‑
SiO2‑
防水膜的布局，MgF2、SiO2和防水膜相加为入射波长/4，膜厚采用G/0.98m6h1.07n/A，AL2O3镀在玻璃上，其存在使得玻璃中含有的Na+和碱金属离子无法扩散到ITO中，保证ITO的导线性能，即保证其电阻率低，提高屏蔽效果；同时在MgF2上先镀一层SiO2，再进行防水膜电镀，因为MgF2是多孔状表面，直接镀防水膜会发生络合物反应，影响透光性，所以先镀一层SiO2，再进行防水膜电镀，可以保证透光性。
[0013]作为本技术进一步的方案：所述基板架主要包括中轴、内电机座、载板、卡块、弹簧和加热芯，所述中轴下部侧壁固定安装有内电机座，内电机座与导电环转动连接，所述中轴上部固定安装有对称设置的载板，载板内部空腔固定安装有加热芯，加热芯通过线束与内电机座电性连接，所述中轴与绝缘套转动连接，所述载板顶端侧壁滑动安装有前后对称的卡块，卡块与载板内壁之间固定安装有弹簧。
[0014]作为本技术再进一步的方案：所述过滤器主要包括中壳、滤芯座、滤芯、滑板、滑杆、限位块和刷环，所述中壳顶端固定连接引风壳，所述中壳底端固定安装有滤芯座，滤芯座顶端旋接安装有滤芯，所述滤芯通过滤芯座与真空机固定导通，所述滤芯外侧套设安装有滑板，滑板内部贯穿固定安装有与滤芯配合的刷环，所述滑板外壁固定安装有对称设置的限位块，所述中壳内壁开设有与限位块配合的滑槽，所述中壳顶端侧壁与滑杆底端固定连接。
[0015]作为本技术再进一步的方案：所述电磁阀采用三通电磁换向阀，所述电磁阀顶端设置有排风口。
[0016]作为本技术再进一步的方案：所述载板内侧填充有导热油。
[0017]作为本技术再进一步的方案：所述控温供电器通过线束分别与两个所述总供电环电性连接。
[0018]作为本技术再进一步的方案：所述电热器、电磁阀、真空机、控温供电器、电机和加热芯通过线束与外部电源及外部控制设备电性连接。
[0019]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0020]本技术涉及一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备，通过内设的灵活基板架，配合紧凑的驱动机械结构，导电结构位于内部，避免外部元素的腐蚀，适应稳定好，镀膜均匀性好，自身寿命有保证，过滤器在抽真空时周期，可以保证滤芯外表面的清洁，避免堵塞，且不需要单独外接驱动设备，对真空设备的做功进行充分利用，更加节能，产生的薄膜自身的屏蔽能力好，自身保护完善。
附图说明
[0021]图1为一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备的结构图。
[0022]图2为一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备左部的放大图。
[0023]图3为一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备右部的剖视图。
[0024]图4为一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备中滑板、滤芯和中壳之间的俯视图。
[0025]图5为一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备左下部的剖视示意图。
[0026]图6为一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备中底框、外框、中轴、转盘和电机之间的剖视示意图。
[0027]图7为一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备中滤芯、滑板和中壳之间的主视示意图。
[0028]图8为一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备中载板、加热芯、卡块和弹簧之间的俯视示意图。
[0029]图中：外框1、电热器2、顶壳3、防护壳4、电磁阀5、引风壳6、中壳7、滤芯座8、真本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高屏蔽效能ITO膜的制造设备，主要包括外框(1)、电热器(2)、真空机(9)、过滤器和基板架，其特征在于，所述外框(1)顶端中部固定安装有顶壳(3)，顶壳(3)内侧固定安装有电热器(2)，电热器(2)底端装配安装有原料盒(13)，所述外框(1)左侧转动安装有密封门(11)，所述外框(1)前后侧壁贯穿固定安装有电机座(12)，所述外框(1)底端固定安装有底框(10)，底框(10)底端固定安装有检修板，所述底框(10)顶端固定安装有压环(28)，压环(28)与底框(10)之间压接安装有转盘(29)，转盘(29)内侧边缘处贯穿安装有绝缘套(31)，绝缘套(31)内侧转动安装有基板架，基板架底端固定安装有齿轮(34)，所述底框(10)内侧下部固定安装有下齿圈(30)，下齿圈(30)与齿轮(34)啮合连接，所述检修板顶端中部固定安装有控温供电器(15)，控温供电器(15)顶端固定安装有中管(36)，中管(36)外侧转动安装有绝缘环(37)，绝缘环(37)外壁与转盘(29)中部内壁固定连接，所述绝缘环(37)内部嵌设固定安装有上下排列的总供电环(38)，总供电环(38)外侧套设转动安装有总导电环(35)，总导电环(35)与总供电环(38)电性转动连接，所述总导电环(35)侧壁通过线束固定安装有导电环(33)，导电环(33)套设安装在基板架外侧下部，所述转盘(29)底端固定安装有内齿环(39)，所述检修板顶端左部固定安装有电机(16)，电机(16)通过外接齿轮与内齿环(39)啮合连接；所述外框(1)右侧上部开设有通口，所述外框(1)右侧上部外壁固定安装有引风壳(6)，引风壳(6)内部固定安装有滑套(21)，滑套(21)中部滑动安装有滑杆(24)，滑杆(24)顶端固定安装有顶板(25)，顶板(25)顶端中部固定安装有配重块(18)，配重块(18)底端中部固定安装有波纹管(19)，波纹管(19)底端侧壁固定连接引风壳(6)顶端中部侧壁，所述引风壳(6)顶端贯穿固定安装有波纹管(19)配合的供气头(20)，供气头(20)右端通过管道固定连接有电磁阀(5)，所述引风壳(6)底端侧壁开设有通风孔，所述引风壳(6)底端固定安装有过滤器，过滤器顶端固定安装有真空机(9)，真空机(9...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜建峰，
申请(专利权)人：赫得纳米科技昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：