【技术实现步骤摘要】
本专利技术关于属于异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置领域，具体涉及一种异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置。
技术介绍
本技术系为异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置，衬底传送进入溅射设备，沉积所需要的膜层，此动作完全藉由伺服控制器控制马达输出动能以皮带或链条的方式将动カ传送到各个传动轮上，进而将衬底持续往一定方向带动，以完成整个溅射薄膜沉积程序。其中传动的稳定性又关系到溅射过程中薄膜沉积厚度的均匀性，若传动不稳定或速度忽快忽慢，就会有上述膜层厚度不均一的现象发生。现行传统的传动装置会在传动轮之间增设一个或数个惰轮，以调节皮带或链条的张力，使传动上不会产生跳齿空 转的现象，然而此装置在使用一段时间后就必须检查皮带或链条张力，手动调整惰轮的上下位置以维持传动系统的稳定性，且通常要等到产品产生问题之后才能发现，増加产品报废重工的机率，也无法事前做预防性的矫正，对维护设备上来说是ー极大困扰。
技术实现思路
本技术主要目的系提供异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置，来解决上述的缺点，提供自动调节惰轮位置的功能，达到无需维护效果，使量产能持续...
【技术保护点】
异质结太阳能电池溅射设备传动惰轮自动调整装置，其特征在于是由惰轮组固定座（11）、固定座螺钉（12）、调整高度螺钉（13）、弹簧（14）、惰轮组（15）、惰轮组固定长孔（18）、惰轮组固定螺钉（17）、惰轮（19）及皮带或链条（120）所组成。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。