【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术涉及一种用于给基底涂层的设备，包括过程室，温度可调的用于将原材料与载气一起引入过程室的进气机构和用于承接要处理的基底的接受器处于过程室内，还包括通过装料口与过程室连接用于存放基底的储存室，以及为过程室进行基底装料和卸料的输送装置。此外本专利技术还涉及这种设备的工作方法。DE10159702A1介绍了一种设备，它由一个具有进气机构和接受器的过程室组成，过程室可以借助机械手进行由机械手从基底储存室取出的基底的装料。在过程室内部实施涂层过程。为此，气态原材料借助载气通过进气机构送入过程室。在基底表面上沉积一个薄层。在这方面可涉及一种化学或物理的涂层法。DE102008026974A1例如介绍了一种设备，它有一个汽化器用于汽化固体或液体原材料。汽化后的原材料与载气一起经由载气管送入热解室内。原材料可涉及聚合的Paraxylylene (聚对苯二亚甲基)。汽化的二聚物在热解室内分解为单体。单体与载气一起送入进气机构。进气机构处于对外气密封闭的过程室内，以及有一个包括许多排列成筛状的孔的气体出口面，输送原材料的载气通过这些孔流入过程室中。进气机构是可调温的。在那里加热...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：GK斯特劳克，W弗兰肯，M科尔伯格，F基特尔，M格斯多夫，J凯佩勒，
申请(专利权)人：艾克斯特朗欧洲公司，
类型：
国别省市：
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