一种掺金属的类金刚石涂层的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种掺金属的类金刚石涂层的方法，将预处理后的工件放入ISE‑MS镀膜设备真空室中的转架杆上，以安置在炉体左右内壁上的一对平面金属溅射靶作为相应掺金属的来源，通过调整中频脉冲电源的功率控制平面金属溅射靶的溅射率；将高纯Ar和CH

【技术实现步骤摘要】
一种掺金属的类金刚石涂层的制备方法
本专利技术属于表面涂层制备
，具体涉及一种掺金属(Cr、Ti、W)的类金刚石涂层的方法。
技术介绍
随着人们环保意识的增强，低碳生活已经成为社会的主旋律。CO2空调制冷压缩机因其环保、高效、节能备受制冷行业的重视和青睐，正成为当前技术研发的热点。但由于CO2冷媒自身的特点，制冷系统跨临界运行，且排气压力较高、压差远大于现有的氟利昂压缩机。现有的技术手段，无论是偏心轴材料优选，机械结构优化设计，还是表面处理工艺设计，均不能完全解决CO2压缩机中存在的偏心轴磨损、润滑和轴封泄漏等难题，因此需要对CO2旋转压缩机的关键部件如偏心轴、滑片等表面耐磨及减摩性能进行深入系统的研究，以寻求技术突破。类金刚石涂层(Diamond-likeCarbon，DLC)是碳基涂层的典型代表，它以其高硬度、低摩擦系数和良好的化学稳定性引起人们的广泛关注。DLC涂层是含有金刚石结构(sp3键)和石墨结构(sp2键)的亚稳非晶态物质，DLC涂层中的碳原子主要以sp3和sp2杂化键结合。因此，通过调控DLC涂层中的化学键成分比例，可有效优化涂层的耐磨、减摩性能，从而有望彻底解本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掺金属的类金刚石涂层的方法，其特征在于，按下列步骤进行：1)将预处理后的工件放入ISE‑MS镀膜设备真空室中的转架杆上，该转架杆随转架台转动，以保证镀膜过程的均匀性；2)以安置在炉体左右内壁上的一对平面金属溅射靶作为相应掺金属的来源，通过调整中频脉冲电源的功率控制平面金属溅射靶的溅射率；将高纯Ar和CH

【技术特征摘要】
1.一种掺金属的类金刚石涂层的方法，其特征在于，按下列步骤进行：1)将预处理后的工件放入ISE-MS镀膜设备真空室中的转架杆上，该转架杆随转架台转动，以保证镀膜过程的均匀性；2)以安置在炉体左右内壁上的一对平面金属溅射靶作为相应掺金属的来源，通过调整中频脉冲电源的功率控制平面金属溅射靶的溅射率；将高纯Ar和CH4通过离子源进入真空室，其中，高纯Ar作为主要离化气体，保证有效的辉光放电过程，CH4作为反应气体，经过离子源使其离化成为DLC涂层中C元素的来源；3)制备工艺条件：A.工件等离子清洗：高纯Ar气体通过离子源通入真空室，流量为50sccm～100sccm，真空度为1.0～2.0×10-1Pa；逐渐增加离子源功率到1.5kW～1.8kW，工件负偏压到600V～850V，用高纯Ar离子轰击清洗工件表面，时间为20min～30min；B.沉积金属底层：调节高纯Ar流量为50sccm～100sccm，真空度为1.0～2.0×10-1Pa，离子源功率为0.3kW～0.8kW，工件负偏压为50V～8...

【专利技术属性】
技术研发人员：马胜利，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：陕西,61