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本发明公开了一种掺金属的类金刚石涂层的方法，将预处理后的工件放入ISE‑MS镀膜设备真空室中的转架杆上，以安置在炉体左右内壁上的一对平面金属溅射靶作为相应掺金属的来源，通过调整中频脉冲电源的功率控制平面金属溅射靶的溅射率；将高纯Ar和CH...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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