CVD设备用吊具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种CVD设备用吊具，其包括收放调节装置、位于收放调节装置底部的承载导轨、安装于所述承载导轨上的载板、以及连接相邻两个载板的连接板；所述收放调节装置包括旋转丝杆以及与旋转丝杆连接的拉伸件，所述拉伸件的一端与所述载板连接。与现有技术相比，本实用新型专利技术所述CVD设备用吊具采用载板来承载屏蔽框，大大增加了吊具与屏蔽框之间的接触面，减少了屏蔽框破碎的概率，同时通过旋转丝杆和拉伸件的配合，可拉伸载板沿承载导轨作运动，方便吊具的安全的退出腔室。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】
本技术涉及微电子制造
，尤其涉及一种CVD设备用吊具。【
技术介绍
】化学气相沉积(CVD，Chemical Vapor Deposit1n)是一种化学气相反应生长法，目前这种技术不仅应用于制造耐热物质的涂层，而且还应用于高纯度金属的精制、粉末合成、半导体薄膜等工艺中。其原理是，将反应气体导入反应器腔室中，使其在热能、等离子体或光能的作用下发生解离而变成活性极强的离子或离子团，离子或离子团通过扩散方式到达固体基板表面发生化学反应，生成固态产物并沉积在基板表面。整个CVD成膜工艺中，为了使反应沉积物精确地沉积于基板的预定位置形成特定形状的膜，并防止沉积物薄膜变成颗粒(Particle)，通常会在PC腔的内部安装屏蔽框(Shield Frame)，作为腔室的侧墙，所述屏蔽框通过加热升温方式可有效抑制薄膜产生颗粒。但是，现有的屏蔽框普遍是由陶瓷器件拼装而成，在采用吊具进行吊装的过程中，由于吊具构造设计得不够科学合理，时常会发生屏蔽框破碎，从而增加生产成本。因此，确有必要提供一种新型的CVD设备用吊具来解决吊装时屏蔽框易破碎的技术问题。【
技术实现思路
】本技术所解决的技术问题在于提供一种CVD设备用吊具，以改善现有技术中吊具吊装过程屏蔽框易碎的问题。为解决上述技术问题，本技术采用一种CVD设备用吊具，其包括收放调节装置、位于收放调节装置底部的承载导轨、安装于所述承载导轨上的载板、以及连接相邻两个载板的连接板;所述收放调节装置包括旋转丝杆以及与旋转丝杆连接的拉伸件，所述拉伸件的一端与所述载板连接。作为本技术方案的进一步改进，所述承载导轨呈十字型;所述载板具有四个，其分别安装于所述十字型承载导轨的四个方向上并构成一矩形框体。作为本技术方案的进一步改进，所述载板的两端设有与所述连接板连接的安装部，所述安装部向内倾斜设置且其与载板的外侧边之间的夹角为45度。作为本技术方案的进一步改进，所述载板呈长条形，所述安装部位于所述长条形载板的两端且呈凹陷设置，所述安装部上设有安装孔，所述连接板上设有与所述安装孔对应设置的槽孔。作为本技术方案的进一步改进，所述载板的安装部上设有向内凹陷的卡槽，所述卡槽与所述连接板的两侧边配合连接。作为本技术方案的进一步改进，所述拉伸件为拉伸丝杆，且拉伸丝杆的一端连接至所述载板上，另一端连接至所述旋转丝杆上。作为本技术方案的进一步改进，所述拉伸丝杆呈十字型设置，所述旋转丝杆位于所述十字型拉伸丝杆的中心位置。作为本技术方案的进一步改进，所述载板呈底角为45度的等腰梯形。与现有技术相比，本技术所述CVD设备用吊具采用载板来承载屏蔽框，大大增加了吊具与屏蔽框之间的接触面，减少了屏蔽框破碎的概率，同时通过旋转丝杆和拉伸件的配合，可拉伸载板沿承载导轨作运动，方便吊具安全的退出腔室。【【附图说明】】图1为本技术CVD设备用吊具的结构示意图。图2为本技术CVD设备用吊具一种实施例中载板与连接板的示意图。图3为本技术CVD设备用吊具另一种实施例中载板与连接板的示意图。【【具体实施方式】】请参阅图1所示，本技术提供一种CVD设备用吊具100，其包括收放调节装置10、位于收放调节装置10底部的承载导轨20、位于所述承载导轨20上的载板30、以及连接相邻两个载板30的连接板40。所述收放调节装置10包括竖直设置的旋转丝杆11以及与旋转丝杆11连接的拉伸件12。所述旋转丝杆11位于所述载板30的内侧，并通过所述拉伸件12与各个载板30连接，所述旋转丝杆11通过自身的转动来带动所述拉伸件12运动，从而由拉伸件12再带动所述载板30运动。所述拉伸件12的一端连接至所述若干载板30上，另一端连接至所述旋转丝杆11上，且拉伸件12可以采用多种结构形式，例如拉伸钢丝或伸缩杆，在本技术较佳实施例中，所述拉伸件12为拉伸丝杆，其与各个所述承载导轨20配合连接，用于拉伸所述载板30，以调节载板30在承载导轨20上的位置，在本实施例中，所述拉伸丝杆呈十字型设置，所述旋转丝杆11位于所述十字型拉伸丝杆的中心位置。所述承载导轨20呈十字型，而且所述十字型承载导轨20与所述十字型拉伸丝杆形状吻合。所述载板30安装于所述承载导轨20上，并可在拉伸件12的作用下沿所述承载导轨20滑移，且在本技术较佳实施例中，所述载板30具有四个，其分别安装于十字型承载导轨20的四个方向上，且相邻两个载板30之间通过所述连接板40衔接固定，如图2所示，在本实施例中所述载板30呈长条形，其两端设有凹陷的安装部31，用于与相邻位置的载板30配合连接，所述安装部31朝向所述旋转丝杆11倾斜设置，且所述安装部31上设有安装孔32，在较佳实施例中，所述载板30呈底角为45度的等腰梯形，即安装部31与载板30外侧边之间的夹角为45度，因而相邻两个载板30在连接位置出的两个安装部31呈相互平行设置。所述连接板40的两侧设有与载板30连接的槽孔41，所述槽孔41与所述安装孔32对应设置，通过在槽孔41和安装孔32内设置固定件42(如螺栓、螺钉、定位销等)实现连接板40与载板30的固定连接，而且所述连接板40还设有圆弧形外侧边43。值得一提的是，所述载板30与连接板40的连接方式可以有多种实施方式，如图3所示，所述载板30两端的安装部31为向内凹陷的卡槽33，在与连接板40连接时只需将所述连接板40的两侧边44卡入所述卡槽33内即可，取下时也只需通过滑移的方式将连接板40抽出即可，可简化安装过程。运行时，通过调节旋转丝杆11将所述载板30均匀向四周拉伸，然后安装所述连接板40，利用连接板40将四个载板30两端衔接起来，使载板30构成一矩形框体;然后，将屏蔽框(未图示)放置在所述载板30上，经天车(未图示)吊装至工艺腔室(未图示)安装好后，下降吊具100并取下连接板40;最后，调节旋转丝杆11使四周载板30均向旋转丝杆11中心收缩，确认吊具100与屏蔽框上下无交叉面(即吊具100垂直上升时不会触碰到屏蔽框)后取出吊具100。整个过程中，通过设置载板30增加了吊具100与屏蔽框的接触面积，可大大降低屏蔽框破碎的情况发生。以上所述，仅是本技术的最佳实施例而已，并非对本技术作任何形式上的限制，任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本技术技术方案范围情况下，利用上述揭示的方法内容对本技术技术方案做出许多可能的变动和修饰，均属于权利要求书保护的范围。【主权项】1.一种CVD设备用吊具，其特征在于，包括收放调节装置、位于收放调节装置底部的承载导轨、安装于所述承载导轨上的载板、以及连接相邻两个载板的连接板;所述收放调节装置包括旋转丝杆以及与旋转丝杆连接的拉伸件，所述拉伸件的一端与所述载板连接。2.根据权利要求1所述的CVD设备用吊具，其特征在于:所述承载导轨呈十字型;所述载板具有四个，其分别安装于所述十字型承载导轨的四个方向上并构成一矩形框体。3.根据权利要求2所述的CVD设备用吊具，其特征在于:所述载板的两端设有与所述连接板连接的安装部，所述安装部向内倾斜设置且其与载板的外侧边之间的夹角为45度。4.根据权利要求3所述的CVD设备用吊具，其特征在于:所述载板呈长条形，所述安装部位于所述长条形载板的两本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种CVD设备用吊具，其特征在于，包括收放调节装置、位于收放调节装置底部的承载导轨、安装于所述承载导轨上的载板、以及连接相邻两个载板的连接板；所述收放调节装置包括旋转丝杆以及与旋转丝杆连接的拉伸件，所述拉伸件的一端与所述载板连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：檀长兵，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32