真空镀膜机内充氧量自动控制装置制造方法及图纸

一种真空镀膜机内充氧量自动控制装置，包括气控阀、压强单元及电离单元；其中气控阀包括阀体、活动阀芯；阀体的一端上设有输气管道，输气管道由进气端和出气端组成；所述阀体的另一端上设有阀腔；所述进气端和出气端分别设有与阀腔连通的气控口；所述活动阀芯设置在阀体内的阀腔中，活动阀芯的头部对应所述气控口设有密封垫，其尾部上套设有电磁线圈，活动阀芯与电磁线圈之间设有弹簧；所述压强单元及电离单元与电磁线圈电连接。本方案解决了现有技术中，由于充氧量调节需人工手动调节，导致调节不准确，从而影响膜的光学性能及产品品质的问题。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种真空镀膜机内充氧量自动控制装置。
技术介绍
在使用真空镀膜机镀制产品吋，特别是在用Ti02+Sio2膜料镀制产品时，为了 Tio2膜料获得稳定的折射率，就要使Tio2膜料在一定的真空度下充分氧化，这就必须给真空镀膜机的真空室内充入氧气。而稳定真空镀膜机的真空室内的真空度就会用到针型真空微调阀。上述的针型真空微调阀如图I所示，由旋钮I、刻度盘2、密封圈3、旋转调节轴4、密封针头5及充气孔6组成，充气孔6通往真空镀膜机的真空室内，密封针头5的尖头插入充气孔6内，旋转调节轴4与密封针头5的尾部相连，通过旋钮I调节密封针头5与充气孔 6之间缝隙的大小，从而控制充入真空室内气体的量。通过逆时针旋转调节轴4，把密封针头5从顶住充气孔6的位置慢慢留出间隙，密封针头5与充气孔6的间隙越大，则充入的氧气越多，反之，顺时针旋转调节轴4，则会减小间隙直至完全密封。而要获知充入气体量的多少，就看底部的电离规管显示的真空度来知道。例如，当要維持ー个2X 10_2帕的真空度吋，在蒸发Tio2或Sio2膜料时的放气量是不同的，通常是Tio2膜料放气量大，其所需的氧气也更多，所以针型真空微调阀要开的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1 ー种真空镀膜机内充氧量自动控制装置，其特征在于包括气控阀、压强単元(7)及电离单元⑶；其中气控阀包括阀体(13)、活动阀芯(10);阀体(13)的一端上设有输气管道(18)，输气管道(18)由进气端(14)和出气端(15)组成；所述阀体(13)的另一端上设有阀腔(17);所述进气端(14)和出气端(15...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱文斌，
申请(专利权)人：苏州灵菱照明镀膜科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：