下载真空镀膜机内充氧量自动控制装置的技术资料

文档序号:7852251

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一种真空镀膜机内充氧量自动控制装置,包括气控阀、压强单元及电离单元;其中气控阀包括阀体、活动阀芯;阀体的一端上设有输气管道,输气管道由进气端和出气端组成;所述阀体的另一端上设有阀腔;所述进气端和出气端分别设有与阀腔连通的气控口;所述活动阀芯...
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