【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜加工设备领域，尤其是一种镀膜机充气装置。
技术介绍
镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。镀膜机的真空室需要配备充气装置，如图1所示，现有的充气装置是由一个双向的气缸2顶住阀盖5，从而封堵充气管路，当停电或气压不足时，可能造成气缸阀门关的不紧闭，阀体的紧闭性较差；另一个缺点是进气口11上没有过滤装置，空气直接进入的真空室，可能对真空室造成污染。
技术实现思路
本技术旨在提供一种通过弹簧压紧阀盖，保障阀体的紧闭性，且能够过滤进气的镀膜机充气装置。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：镀膜机充气装置，包括阀体，所述阀体顶部安装气缸，该气缸通过螺丝与阀体固定，气缸的气缸轴底端安装阀盖，该阀盖与阀体底部的出气口配合，气缸轴上套有弹簧，气缸通过气缸接头连接供气装置；所述阀体的进气管道上安装铜消声过滤器。作为本技术的进一步方案：所述阀盖的底部设有密封圈。作为本技术的进一步方案：所述阀体底部的出气口连通真空箱体管道。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该镀膜机充气装置通过弹簧压紧阀盖，初始状态下阀盖通过弹簧弹力被压紧在阀体的底部出气口上，当需要打开出气口时，气缸动作，克服弹簧弹力将阀盖上移即可，避免了因为停电或气压不足时可能造成的气缸阀门关的不紧闭，阀体的紧闭性较好；且阀体的进气管道上安装铜消声过滤器，空气经过铜消声器后进入管路，再进入真空室，防止对真空室造成污染的同时消除噪音污染，值得大力推广。附图说明图1为现有的充气装置的结构示...
【技术保护点】
镀膜机充气装置，包括阀体（1），其特征在于，所述阀体（1）顶部安装气缸（2），该气缸（2）通过螺丝（3）与阀体（1）固定，气缸（2）的气缸轴（4）底端安装阀盖（5），该阀盖（5）与阀体（1）底部的出气口配合，气缸轴（4）上套有弹簧（6），气缸（2）通过气缸接头（21）连接供气装置；所述阀体（1）的进气管道上安装铜消声过滤器（7）。
【技术特征摘要】
1. 镀膜机充气装置，包括阀体（1），其特征在于，所述阀体（1）顶部安装气缸（2），该气缸（2）通过螺丝（3）与阀体（1）固定，气缸（2）的气缸轴（4）底端安装阀盖（5），该阀盖（5）与阀体（1）底部的出气口配合，气缸轴（4）上套有弹簧（6），气缸（2）通过气缸接...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱文斌，
申请(专利权)人：苏州灵菱照明镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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