【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种光刻机用近紫外光截止膜结构，主要用于可见光的反射和透射。
技术介绍
由于近紫外光波长短、热效应不强等独特特性，而广泛应用于工业(半导体芯片生产、在塑料上雕刻图形)、医学装置(片上生物工厂的制造)、天文、侦破等领域。特别是随着高密度信息存储、大规模集成电路以及惯性约束核聚变等近代科学技术的发展，人们对存储密度、仪器集成度的要求越来越高，紫外波段高功率激光系统的发展愈来愈受到重视。 而紫外薄膜正是支持紫外光路系统的重要元件，它们的光学性能影响制约着整个系统的效率。随着电子业的飞速发展，对作为电子元器件基础的印制板的加工精度要求越来越高。紫外线光刻机是印制板制造工艺中的重要设备。在使用光刻机对产品进行光刻时，一般是用放电放出最大的紫外光线能量，然后通过一碗状反射镜把光线聚成一个均匀的能量源照射在光刻产品上。但使用的反射镜通常为碗状玻璃反射镜，而玻璃具有透过和反射可见光的功能，则紫外线通常有很大一部分被玻璃透射到空气中，从而达不到光刻面所要求的能量。因此如何解决在光刻过程中，紫外线经反射镜被透射到空气中，而达不到光刻面所要求的能量，是本技术所要解决的问题。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱文斌，
申请(专利权)人：苏州灵菱照明镀膜科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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