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一种光刻机用近紫外光截止膜结构，包括一碗状反光镜，在所述碗状反光镜上镀设一近紫外光截止膜层，该近紫外光截止膜层由二氧化锆膜层和二氧化硅膜层一隔一间隔层叠构成，该近紫外光截止膜层的层数共为36～40层；其中，第一层为二氧化钛膜层，第二层为二氧...
该专利属于苏州灵菱照明镀膜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州灵菱照明镀膜科技有限公司授权不得商用。

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