【技术实现步骤摘要】
201610182631
【技术保护点】
一种透明聚合物表面的透明疏水耐磨类金刚石薄膜的制备方法，其特征是：包括如下步骤：(1)对透明聚合物表面进行等离子体刻蚀处理；(2)采用线性离子束沉积法，通入碳源气体，在经过(1)处理后的透明基体表面沉积类金刚石薄膜，同时，在类金刚石薄膜的沉积过程中通入Ar气体，使薄膜沉积和气体刻蚀同时进行。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孙丽丽，汪爱英，郭鹏，张栋，李晓伟，柯培玲，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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