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本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构，包括电机和真空管路,电机的入风口（1）与真空管路出风口（2）之间设有密封缓冲装置，所述密封缓冲装置包括波纹管（3）和用于将波纹管（3）与电机的入风口（1）和真空管路出风口（2）相连接的若干固...该专利属于江阴沐祥节能装饰工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江阴沐祥节能装饰工程有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜线上的抽真空机构，包括电机和真空管路,电机的入风口（1）与真空管路出风口（2）之间设有密封缓冲装置，所述密封缓冲装置包括波纹管（3）和用于将波纹管（3）与电机的入风口（1）和真空管路出风口（2）相连接的若干固...