发光二极管反射电极的钝化方法技术

技术编号:8162751 阅读:276 留言:0更新日期:2013-01-07 20:19
本发明专利技术公开了一发光二极管反射电极的钝化保护方法,包括步骤:在一基板上形成发光外延层,其至下而上包括第一半导体层、发光层和第二半导体层;在所述发光外延层上形成反射金属电极结构,包括金属反射层、金属隔离层和金属电极层;采用化学溶液对所述金属反射层的四周侧壁进行金属钝化,完成金属电极结构的钝化保护。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种反射电极的制作方法,更具体地是。
技术介绍
发光二极管(英文为Light Emitting Diode,简称LED)是半导体ニ极管的ー种,它能将电能转化为光能,发出黄、绿、蓝等各种颜色的可见光及红外和紫外不可见光。与小白炽灯泡及氖灯相比,它具有工作电压和电流低、可靠性高、寿命长且可方便调节发光亮度等优点。自20世纪90年代氮化镓(GaN)基LED开发成功以来,随着研究的不断进展,其发光亮度也不断提高,应用领域也越来越广。目前,适合商用的蓝绿光LED都是基于GaN的III-V族化合物半导体材料。由于GaN基LED外延片的P-GaN层空穴浓度小,且P-GaN厚度较薄,绝大部分发光时从P-GaN透出。而P-GaN不可避免地对光有吸收作用,导致LED芯片外量子效率不高,大大降低了 LED的发光效率。为此,改善LED发光效率的研究较为活跃,主要技术有采用图形衬底技术、分布电流阻挡层、分布布拉格反射层(英文为Distributed Bragg Reflector,简称DBR)结构、透明衬底、表面粗化、光子晶体技术等。參见图1,在常规正装发光二极管结构中,包括衬底100,由下往本文档来自技高网...

【技术保护点】
发光二极管反射电极的钝化方法,其包括步骤:在一基板上形成发光外延层,其至下而上包括第一半导体层、发光层和第二半导体层;在所述发光外延层上形成反射金属电极结构,包括金属反射层、金属隔离层和金属电极层;采用化学溶液对所述金属反射层的四周侧壁进行金属钝化,完成金属电极结构的钝化保护。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:林素慧洪灵愿彭康伟其他发明人请求不公开姓名
申请(专利权)人:安徽三安光电有限公司
类型:发明
国别省市:

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