薄膜晶体管阵列基板及其制备方法及液晶显示面板技术

本发明专利技术提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制备方法及液晶显示面板，所述阵列基板包括阵列基板衬底、设置在所述阵列基板衬底上的薄膜晶体管阵列层、设置在所述薄膜晶体管阵列层及阵列基板衬底上的彩色滤光层、设置在所述彩色滤光层上的像素电极钝化层以及设置在所述像素电极钝化层上的像素电极，所述像素电极通过一过孔与所述薄膜晶体管阵列层连接，所述彩色滤光层表面设置有图形化的凹陷微结构。本发明专利技术的优点在于，在不增加制造成本的前提下，利用形成过孔的光罩在彩色滤光层表面形成图形化的凹陷微结构，使得色阻制作过程及后续像素电极钝化层高温制程产生的挥发物完全释放，避免气体残留，消除产品后期产生气泡的可能性，提高产品品质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示领域，尤其涉及一种薄膜晶体管阵列基板及其制备方法及液晶显示面板。
技术介绍
液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)是目前最广泛使用的平板显示器之一，液晶面板是液晶显示器的核心组成部分。AMLCD制备技术中采用COA(ColorFilteronArray)技术来提高开口率，降低寄生电容效应。COA(ColorFilteronArray)技术是将彩色滤光层直接制备在的阵列基板上的技术，而彩膜基板上只设有黑色矩阵(BlackMatrix，BM)以及柱状隔垫物(PhotoSpacer，PS)层。彩色滤光层的主体材料为有机物，现有技术在进行彩色滤光层的制作时，可能会在其内部残存有气体。同时由于有机物的特性，在某些条件下，例如高温环境，彩色滤光层内部会缓慢释放出小分子的碳氧化物气体，如CO、CO2等，这些小分子气体产生后会穿透彩色滤光层表面其他结构层，而进入液晶层当中，在局部形成气泡，会影响显示效果，降低产品良率。目前，需要通过设计小孔来使色阻中的气体挥发出来，但是采用这种方式气体挥发不充分且制备小孔工艺较难控制，导致COA产品品质不够稳定。专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，包括阵列基板衬底、设置在所述阵列基板衬底上的薄膜晶体管阵列层、设置在所述薄膜晶体管阵列层及阵列基板衬底上的彩色滤光层、设置在所述彩色滤光层上的像素电极钝化层以及设置在所述像素电极钝化层上的像素电极，所述像素电极通过一过孔与所述薄膜晶体管阵列层连接，所述彩色滤光层表面设置有图形化的凹陷微结构。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，包括阵列基板衬底、设置在所述阵列基板衬底上的薄膜晶体管阵列层、设置在所述薄膜晶体管阵列层及阵列基板衬底上的彩色滤光层、设置在所述彩色滤光层上的像素电极钝化层以及设置在所述像素电极钝化层上的像素电极，所述像素电极通过一过孔与所述薄膜晶体管阵列层连接，所述彩色滤光层表面设置有图形化的凹陷微结构。2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，所述薄膜晶体管阵列层包括设置在所述阵列基板衬底上的栅极金属层、设置在所述栅极金属层及阵列基板衬底上的栅极钝化层、设置在所述栅极钝化层上的沟道区、设置在所述沟道区上的第一钝化层、设置在所述第一钝化层上的源漏极金属层以及设置在所述源漏极金属层上的第二钝化层，所述彩色滤光层设置在所述第二钝化层上。3.根据权利要求1所述的薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，所述彩色滤光层包括多个依次连接的色阻单元，每一色阻单元上均设置有图形化的凹陷微结构。4.根据权利要求3所述的薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，所述色阻单元包括红色色阻单元、绿色色阻单元以及蓝色色阻单元。5.一种液晶显示面板，包括薄膜晶体管阵列基板及彩膜基板，其特征在于，所述薄膜晶体管阵列基板采用权利要求1～4任意一项所述的薄膜晶体管阵列基板，所述彩膜基板包括彩膜基板衬底、设置在所述彩膜基板衬底上的黑色矩阵以及设置在所述黑色矩阵上的柱状隔垫物。6.一种薄膜晶体管阵列基板的制作方法，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋利旺，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44