【技术实现步骤摘要】
光刻机调焦调平机构以及光刻机调平机构
本专利技术涉及精密仪器领域，特别是涉及ー种光刻机调焦调平机构和光刻机调平机构。背景技木光刻机作为推动集成电路发展的核心 驱动力，集成电路的发展对光刻机分辨率提出了越来越高的要求。但随着光刻机分辨率的提高，光刻机物镜的焦深呈加速缩短趋势，如果实际焦深达不到光刻エ艺要求的焦深容限，将严重影响曝光线条质量和集成电路的成品率。焦深已成为阻碍光投影光刻技术向更高分辨率发展的关键因素。为了充分利用光学系统有限的焦深，在曝光时需要对硅片进行调焦和调平。因此，精密、高效的调焦调平机构对光投影光刻的意义十分重大。目前，在光刻机中使用的三点式调焦调平机构主要分为两种，一种是柔性铰链式三点支撑调焦调平机构，另ー种是丝杠式三点支撑调焦调平机构。柔性铰链式三点支撑调焦调平机构包含有三个呈等边三角形配置的压电陶瓷驱动器，其中一个驱动器的一端与底座固连，另一端与承载台通过柔性铰链与底座和承载台固连。这种调焦调平机构在自然状态下具有一个绕竖直方向的转动自由度，机构处于欠约束状态；在但输入状态下，机构具有两个自由度，机构的驱动输入数小于自由度数，机构处于欠...
【技术保护点】
一种光刻机调焦调平机构，其特征在于，包括底座；压电陶瓷驱动器组件，包括固定连接的压电陶瓷驱动器与球头支承，所述压电陶瓷驱动器组件的数量为三个，所述压电陶瓷驱动器固定于所述底座上，三个所述压电陶瓷驱动器组件呈直角三角形配置；承载台组件，包括承载台，所述承载台组件设有用于容置第一球头支承的弧形槽、用于容置第二球头支承的条状槽和用于容置第三球头支承的平面凸台，且弧形槽、条状槽和平面凸台呈直角三角形配置；拉簧组件，与所述底座和承载台固定连接，用于实现承载台和底座的力封闭。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王大志，何凯，杜如虚，
申请(专利权)人：中国科学院深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：
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