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本发明涉及一种光刻机调焦调平机构，包括：底座；压电陶瓷驱动器组件，包括固定连接的压电陶瓷驱动器与球头支承，压电陶瓷驱动器组件的数量为三个，压电陶瓷驱动器固定于所述底座上，三个压电陶瓷驱动器组件呈直角三角形配置；承载台组件，包括承载台，承载台...
该专利属于中国科学院深圳先进技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院深圳先进技术研究院授权不得商用。

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