晶体管制造技术

技术编号:8149824 阅读:208 留言:0更新日期:2012-12-28 21:07
本实用新型专利技术涉及一种晶体管。根据本实用新型专利技术的晶体管,包括:半导体衬底;形成在所述半导体衬底上的栅极电介质;形成在所述栅极电介质上的栅极;位于所述半导体衬底中、且分别在所述栅极两侧的源区和漏区,其中至少所述源区和漏区之一包含至少两个位错,其中源区包含第一数量的位错,漏区包含第二数量的位错,所述第一数量不同于第二数量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:尹海洲骆志炯朱慧珑
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
类型:
国别省市:

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