【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光
，尤其涉及一种激光加工装置。
技术介绍
由于加工效率高 、精度好，激光目前已经代替了传统的微孔加工，广泛应用于单晶硅片划切、树脂基板的穿孔、金刚石切割和打孔、宝石刻字等领域。不同材料对不同波长的激光的吸收不同，并不是波长越短的激光加工效果越好。例如，金刚石相对于可见光和红外光而言，其对短波长(如紫外)的辐射具有较高的吸收率，所以如果待加工材料为金刚石，用短波长激光加工会有很好的效果；而当金刚石为待加工材料基底时，用短(紫外)波段激光加工会对基底造成损伤，影响加工质量。所以，通常人们会根据加工材料的不同而选择不同波长的加工装置，但是这样做就需要购置多台激光加工装置，硬件成本很高。或者在一台装置上根据不同波长光源装配不同构件，则整个装置变得体积庞大，结构复杂。或者使用多波长激光器作为光源，不同波长的光源在加工时的工作距离不相同，根据每个波长配备相应的聚焦物镜，例如三波长激光器需要三个物镜，但是加工时只能出单一波长的激光，而且使用其他波长就要换物镜并重新调节工作距离，十分繁琐。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种激光加工装置，使用...
【技术保护点】
一种激光加工装置，包括：可多路输出多个波长激光的激光器，适于输出第一波长激光和第二波长激光，其中第一波长激光经过的光路为第一光路，第二波长激光经过的光路为第二光路；第一光路上的第一扩束镜组、第一反射镜、末端反射镜、以及聚焦物镜，所述第一反射镜适于透射第一波长激光并且反射第二波长激光到所述末端反射镜，所述末端反射镜适于将接收的激光反射到聚焦物镜，所述聚焦物镜适于将接收的激光汇聚到焦点；和第二光路上的第二扩束镜组、第二反射镜，所述第二反射镜适于反射第二波长激光到所述第一反射镜以耦合进第一光路；其中，所述第一和第二扩束镜组包括多片透镜，通过调节所述第一扩束镜组和第二扩束镜组中的透...
【技术特征摘要】
1.一种激光加工装置，包括 可多路输出多个波长激光的激光器，适于输出第一波长激光和第二波长激光，其中第一波长激光经过的光路为第一光路，第二波长激光经过的光路为第二光路； 第一光路上的第一扩束镜组、第一反射镜、末端反射镜、以及聚焦物镜，所述第一反射镜适于透射第一波长激光并且反射第二波长激光到所述末端反射镜，所述末端反射镜适于将接收的激光反射到聚焦物镜，所述聚焦物镜适于将接收的激光汇聚到焦点；和 第二光路上的第二扩束镜组、第二反射镜，所述第二反射镜适于反射第二波长激光到所述第一反射镜以耦合进第一光路； 其中，所述第一和第二扩束镜组包括多片透镜，通过调节所述第一扩束镜组和第二扩束镜组中的透镜间距离，使第一波长激光和第二波长激光经过聚焦物镜聚焦在同一个焦点。2.根据权利要求I所述的激光加工装置，其中，所述聚焦物镜为显微物镜或反射式物镜。3.根据权利要求I所述的激光加工装置，其中，所述可多路输出多个波长激光的激光器输出的激光的脉宽形式包括纳秒激光，皮秒激光和飞秒激光。4.根据权利要求I所述的激光加工装置，其中， 所述可多路输出多个波长激光的激光器还适于输出第三波长激光，所述第三波长激光经过的光路为第三光路； 所述激光加工装置还包括第三光路上的第三扩束镜组、第三反射镜，所述第三反射镜适于透射第二波长激光并且反射第三波长激光到第一反射镜； 所述第一反射镜还适于反射第三波长激光以将其耦合进第...
【专利技术属性】
技术研发人员：余锦，刘洋，张雪，边强，李晗，樊仲维，赵天卓，闫莹，麻云凤，黄科，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：发明
国别省市：
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