下载激光加工装置的技术资料

文档序号:8126312

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本发明提供一种激光加工装置,包括:可多路输出多个波长激光的激光器,适于输出第一波长激光和第二波长激光,其中第一波长激光经过的光路为第一光路,第二波长激光经过的光路为第二光路;第一光路上的第一扩束镜组、第一反射镜、末端反射镜、以及聚焦物镜,所...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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