【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于处理集成电路的设备，尤其涉及已从基板分割的集成电路。
技术介绍
在集成电路单元的处理中涉及的经济问题受单元处理速率影响，该速率以单元每小时(UPH, Unit per hour)来测量。该速率包括那些不满足特定品质标准的単元，或在处理周期内被置换的单元。为确保ー批单元满足此标准，有必要使成批的IC単元在封装或最終使用之前经受检查。
技术实现思路
在第一方面，本专利技术提供一种用于检查和分拣多个IC单元的方法，所述方法包括以下步骤将包含所述IC単元的框架传送至単元拾取站；在所述传送步骤期间对所述单元进行第一检查并记录后续随后的结果；从所述框架移除所述单元，并将所述单元从所述单元拾取站移动至翻转站；在所述移动步骤期间对所述单元进行第二检查并记录后续结果；翻转所述单元以露出所述单元的反面；然后，对所述反面进行第三检查并记录随后的結果，然后；基于在所述第一、第二和第三检查步骤中记录的结果将所述单元分拣到种类中。在第二方面，本专利技术提供一种用于检查和分拣多个IC単元的系统，所述系统包括用于将包含所述IC単元的框架传送至単元拾取站的输送机；第一检查站，所述第...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋钟杰，沈韵素，杨海冲，张迪春，
申请(专利权)人：洛克系统有限公司，
类型：发明
国别省市：
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