【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种集成吸气剂的MEMS薄膜封装结构,包括薄膜封帽及位于所述薄膜封帽下方的承载衬底(1);其特征是:所述薄膜封帽与承载衬底(1)间设有用于容纳MEMS结构(2)的腔体(9),所述腔体(9)中收纳有MEMS结构(2),所述MEMS结构(2)与薄膜封帽或承载衬底(1)相连;所述薄膜封帽包括位于内侧的吸气剂层(5)及位于外侧的最终密封层,薄膜封帽通过薄膜封帽中的吸气剂层(5)及最终密封层与承载衬底(1)相连,并通过吸气剂层(5)与承载衬底(1)间形成腔体(9)内壁;最终密封层位于吸气剂层(5)外侧,并将MEMS结构(2)密封于腔体(9)内。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:秦毅恒,欧文,张昕,
申请(专利权)人:江苏物联网研究发展中心,
类型:发明
国别省市:
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