【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于碲化镉薄膜太阳能电池制备工艺，具体涉及碲化镉靶材的制作方法。
技术介绍
目前，碲化镉薄膜太阳能电池越来越受到广大用户的青睐，在碲化镉薄膜太阳能电池的制备工艺中，碲化镉靶材的制作是其关键所在，现有的制作方法主要包括近空间升华法、物理气相输送法、高真空蒸镀法和磁控溅射法等，采用上述方法制作的碲化镉靶材普遍存在以下缺点 (1)在溅射条件下无法溅射或者经过长时间的预溅射靶材，才能溅射成功，如果关断溅射电源后，经过一定时间的冷却再溅射镀膜，也要经过预溅射靶材的过程才能工作； (2)在溅射靶材的过程中，靶材容易在局部放电，导致该处出现穿孔现象。
技术实现思路
针对上述不足，本专利技术提供，通过该制作方法制得的碲化镉靶材不但无需经过预溅射靶材即可直接工作，还不会出现局部放电的现象。本专利技术是通过这样的技术方案来实现的，该制作方法包括如下步骤第一步，对碲化镉材料进行冷压成形，制作成碲化镉靶材；第二步，对镉化镉靶材进行烧结将镉化镉靶材放入加热装置，通入惰性气体，该惰性气体包括但不限于氮气、氩气，几分钟后，将靶材加热到80 150°C，保温50 70分钟；然后在4小...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘映天，潘锦功，谢义成，傅干华，
申请(专利权)人：成都中光电阿波罗太阳能有限公司，
类型：发明
国别省市：
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