【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及表面处理
，尤其是涉及一种。
技术介绍
硬质涂层作为一种重要的防护涂层，以其优异的摩擦学性能和抗腐蚀性能被广泛应用于切削刀具和齿轮等机件的表面的防护。而电弧离子镀技术在工业上是一种典型的物理气相沉积技术，凭借其高离化率、高沉积速率及操作简单等优点，被广泛应用于硬质涂层的制备工艺。然而，现有的沉积态涂层内一般都存在平均值高达数兆帕(GPa)甚至十几GPa的残余压应力，且应力沿层深分布极其不均匀。涂层残余应力的大小及其分布情况会直接影响膜-基结合强度与涂层使用寿命，甚至在残余应力过大时还将直接导致涂层防护作用失效。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种，能够改善应力分布，从而在保持硬质涂层的硬度及耐磨性能的前提下，提高其膜-基结合力。一种硬质涂层，其附着于金属基体上，硬质涂层包括多层低应力层及多层高应力层，这些低应力层及高应力层交替形成于金属基体上。本专利技术还提供一种硬质涂层的制备方法，其包括以下步骤提供金属基体；将金属基体置于真空室；以及在真空室内通入氮气，用电弧离子镀的工艺在高低交替改变氮气偏压的条件下于金属基体上沉积多层低应力层与多层高应力...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
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