耐冲蚀性机械部件、机械部件的表面层形成方法以及蒸汽涡轮的制造方法技术

技术编号：7359816 阅读：197 留言：0更新日期：2012-05-26 13:27

本发明专利技术涉及一种表面层形成方法，其目的在于形成优异的耐冲蚀覆膜，该表面层形成方法由下述工序构成：在加工液(3)中配置部件(2)的工序；以及通过相对于该部件(2)隔着规定间隙配置Si电极(1)，施加规定电压而产生放电，从而从所述Si电极(1)向部件侧供给Si成分，形成含Si表面层的工序，在该表面层形成方法中，通过反复产生放电脉冲的电流值的时间积分值落在30A·μs～80A·μs的范围内的放电脉冲，从而在被处理部分上以5～10μm的厚度形成Si含量为3～11wt％的铁基金属组织。