YBCO超导薄膜的低氟溶液沉积及其热处理工艺制造技术

本发明专利技术提供一种YBCO超导薄膜的低氟溶液沉积及其热处理工艺，先制备低氟钇钡铜氧溶液；再进行凝胶薄膜的制备及干燥：再对干膜进行预处理，最后进行终处理：利用潮湿的氧气与惰性气体的混合气体，并在790～810℃的炉温下保温1～2小时，再将气氛切换成同样氧分压且干燥的氧气与惰性气体的混合气体，在790～810℃的炉温下继续保温10～30分钟；最后随炉自然冷却，在400～500℃后将气氛切换成干O2，保温2～4小时，最后随炉自然冷却到室温，取出样品即可。本发明专利技术最终获得的钇钡铜氧超导薄膜具有高度c轴织构，临界电流密度高，液氮温度下临界电流密度Jc达到(1～5)×106A/cm2。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及高温超导微电子材料与器件领域及涂层导体制备
，尤其涉及有关钇钡铜氧超导膜的化学溶液法制备技术，具体地涉及一种YBCO超导薄膜的低氟溶液沉积及其热处理工艺。
技术介绍
钇系高温超导，包括钇钡铜氧，镱钡铜氧，钕钡铜氧等。钇系高温超导是一种可在液氮温区应用的高温超导材料。钇系高温超导薄膜以其优良的电磁特性，尤其是在高场下具有比第一代铋系带材更高的临界电流密度，一方面可应用于微电子器件等弱电领域，制成各种高、精、尖的电子器件，比如超导量子干涉仪(SQUID)，约瑟夫森结(Josephson junctions)、超导耦合天线(Superconducting Coupled Antenna)、超导红外探测器 (Superconducting Infrared Detector)以及超导滤波器(Superconductive Microwave Filter)，等；另一方面也可应用于电力电子等强电领域，如电网系统上的故障限流器 (Fault Current Limiter)，及第二代高温超导带材——涂层导体的超导层等。钇钡铜氧的化学式为TOa2Cu3CVs，简写为YBC0。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈源清，赵高扬，武传宝，薛人中，
申请(专利权)人：西安理工大学，
类型：发明
国别省市：