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本发明提供一种YBCO超导薄膜的低氟溶液沉积及其热处理工艺，先制备低氟钇钡铜氧溶液；再进行凝胶薄膜的制备及干燥：再对干膜进行预处理，最后进行终处理：利用潮湿的氧气与惰性气体的混合气体，并在790～810℃的炉温下保温1～2小时，再将气氛切换...
该专利属于西安理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安理工大学授权不得商用。

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