本发明专利技术提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明专利技术的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材，其特征在于，上述第一氧化物粉末为MgO粉末，第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98％以上，上述第二氧化物粉末为CaO和ZnO的混合粉末，第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98％以上，气相沉积材由含有第一氧化物粉末和第二氧化物粉末的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5～90∶95～10，且颗粒的碱度为0.1以上。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。更具体地，涉及用于形成这些诸特性优异，特别是适合作为液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池模块等的阻气材的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。
技术介绍
液晶显示器、有机EL显示器或太阳能电池等机器通常不耐湿，由于吸湿使其特性快速劣化，因此必须装备具有高防湿性、即具有防止氧或水蒸气等透过或侵入的阻气性的部件。例如，在太阳能电池的例子中，在与太阳能电池模块的受光面相反侧的背面设置有背板。该背板典型地在基材上由具有高防湿性的阻气材和保护它们的部件等构成。作为这样的构成太阳能电池模块的背板，例如公开了通过高强度的耐热性耐气候性树脂夹入防湿性金属箔，进而在其一方设置玻璃质的气相沉积薄膜而成的太阳能电池模块的背面保护用片材材料(例如，参考专利文献1)。在该片材材料中，作为阻气材使用铝箔、镀锌铁箔、镀锡铁箔等金属箔。另外，公开了将高防湿薄膜和高耐气候薄膜层压并一体化而成的太阳能电池覆盖材用于背面侧保护部件的太阳能电池(例如，参考专利文献2)。 该太阳能电池覆盖材中的高防湿薄膜使用在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜等基材薄膜上通过化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)法等形成由二氧化硅、氧化铝等无机氧化物的涂敷膜构成的防湿膜作为阻气材。另外，公开了具备呈现无机氧化物层的由塑料薄膜或塑料复合材构成的阻挡层的光生伏打模块(例如，参考专利文献幻。在该无机氧化物层中，氧化铝或二氧化硅作为其涂敷材料使用。专利文献1 日本实公平2-44995号公报(技术注册的权利要求书和第五栏的第41 44行)专利文献2 日本特开2000-174296号公报(权利要求1、权利要求7和 段)专利文献3 日本特表2002-520820号公报(权利要求1和段)但是，上述专利文献1中所示的背面保护用片材材料由于使用铝箔等金属箔作为阻气材，若将该片材材料应用于太阳能电池模块的背板，则有可能耐电压性降低，电流泄漏。另外，使用金属箔的片材材料若金属箔的厚度为20 μ m以下，则在耐热性耐气候性树脂与金属箔之间产生的针孔增加，阻气性显著降低。另一方面，若增加金属箔的厚度，则产生制造成本提高的问题。另外，如果是上述专利文献2和专利文献3中所使用的二氧化硅、氧化铝等无机氧化物的情况下，为了得到高阻气性必须确保膜厚在IOOnm以上，即使这样也不能断言阻气性充分。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜，且在大气中的保存稳定性优异的气相沉积材。本专利技术的另一目的在于，提供具备透明性和阻气性优异的薄膜的薄膜片材和层压片材。本专利技术的第一方面为气相沉积材，混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作，其特征在于，上述第一氧化物粉末为MgO粉末，该第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为 98%以上，上述第二氧化物粉末为CaO和ZnO的混合粉末，该第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98%以上，气相沉积材由含有第一氧化物粉末和第二氧化物粉末的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5 90 95 10，且颗粒的碱度为0. 1 以上。本专利技术的第二方面为基于第一方面的专利技术，其特征在于，进一步地，第一氧化物粉末的平均粒径为0. 1 10 μ m，且第二氧化物粉末的平均粒径为0. 1 10 μ m。如图1所示，本专利技术的第三方面为薄膜片材10，通过将基于第一或第二方面的气相沉积材用作靶材的真空成膜法，在第一基材薄膜11上形成包含第一氧化物所含的金属元素A和第二氧化物所含的金属元素B的氧化物薄膜12，将上述薄膜12中的全部金属元素的含有比例设为100摩尔％时，金属元素A的含有比例为5 90摩尔％，金属元素B的含有比例为95 10摩尔％。本专利技术的第四方面为基于第三方面的专利技术，其特征在于，进一步地，真空成膜法为电子束蒸镀法、离子镀法、反应性等离子体沉积法、电阻加热法或感应加热法中的一种。如图1所示，本专利技术的第五方面为层压片材20，在基于第三或第四方面的薄膜片材10的薄膜12形成侧通过粘接层13层压第二基材薄膜14而成。在本专利技术的第一方面的气相沉积材中，第一氧化物粉末为MgO粉末，该第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98%以上，上述第二氧化物粉末为CaO和SiO的混合粉末， 该第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98%以上，气相沉积材由含有第一氧化物粉末和第二氧化物粉末的颗粒构成，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5 90 95 10，且颗粒的碱度为0.1以上，从而可以形成与现有的阻气材相比大幅提高阻气性的薄膜。并且，气相沉积材在大气中的保存稳定性优异。在本专利技术的第二方面的气相沉积材中，第一氧化物粉末的平均粒径为0. 1 10 μ m，且第二氧化物粉末的平均粒径为0. 1 ομπι，从而可以形成气相沉积效率良好且稠密的气相沉积膜，因此可以维持高阻气性并使其稳定化。在本专利技术的第三方面的薄膜片材中，通过具备将包含第一氧化物所含的金属元素 A和第二氧化物所含的金属元素B的薄膜中的全部金属元素的含有比例设为100摩尔％时， 金属元素A的含有比例为5 90摩尔％、金属元素B的含有比例为95 10摩尔％的薄膜， 具有优异的透明性和阻气性。在本专利技术的第五方面的层压片材中，采取在第三或第四方面的薄膜片材的薄膜形成侧进一步通过粘接层层压第二基材薄膜的结构。由此，第二基材薄膜可以保护薄膜，因此可以维持高阻气性并使其稳定化。附图说明图1为简要表示本专利技术实施方式的薄膜片材和层压片材的层压结构的截面图。图2为简要表示现有的薄膜片材的截面结构的图。图3为简要表示本专利技术实施方式的薄膜片材的截面结构的图。图4为表示气相沉积材的保存稳定性的评价结果的照片。符号说明10 薄膜片材11 第一基材薄膜12 薄膜13 粘接层14 第二基材薄膜20 层压片材具体实施例方式以下，参照附图说明本专利技术的实施方式。本专利技术的气相沉积材可以适合用于薄膜的形成。使用该气相沉积材所形成的薄膜起到防止氧或水蒸气等透过或侵入的阻气材的作用。该气相沉积材混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作。用于制作气相沉积材的第一氧化物粉末为MgO粉末，该第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为98 %以上，优选为98. 4%以上，第二氧化物粉末为CaO和ZnO的混合粉末，该第二氧化物粉末的第二氧化物纯度为98%以上，优选为99. 5%以上。在此，将第一氧化物粉末的第一氧化物纯度限定为 98%以上，是因为小于98%时由于杂质而结晶性恶化，结果阻挡特性降低。在此，将第二氧化物粉末的第二氧化物纯度限定为98%以上，是因为小于98%时由于杂质而结晶性恶化， 结果阻挡特性降低。并且，本说明书中的粉末纯度通过光谱分析法(电感耦合等离子体发光分析装置日本夕~ 一 > > 7 7 * -制ICAP-88)测定。另外，该气相沉积材含有的第一氧化物粉末的平均粒径为0. 1 10 μ m，且第二氧化物粉末的平均粒径为0. 1 10 μ m，气相沉积材中的第一氧化物与第二氧化物的摩尔比为5 90 95 10。而且，颗粒的碱度为0. 1以上。通过以规定比例含有如此微细化的第一氧化物粉末和第二氧化物粉末，可以使高阻本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：黛良享，有泉久美子，吉田勇气，樱井英章，
申请(专利权)人：三菱综合材料株式会社，
类型：发明
国别省市：
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