下载薄膜形成用气相沉积材、具备该薄膜的薄膜片材和层压片材的技术资料

文档序号:7316594

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本发明提供适合形成透明性和阻气性优异的薄膜的气相沉积材和具备该薄膜的薄膜片材以及层压片材。本发明的气相沉积材为混合第一氧化物粉末和第二氧化物粉末而制作的气相沉积材,其特征在于,上述第一氧化物粉末为MgO粉末,第一氧化物粉末的第一氧化物纯度为...
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