基板粘合装置以及基板粘合方法制造方法及图纸

一种基板粘合装置以及基板粘合方法，该基板粘合装置包括：腔体；上表面板，其被布置在腔体内部，并且上表面板包括用于粘结上基板的粘结部件、和进行膨胀以使上基板与粘结部件分离的隔膜；下表面板，其被布置在腔体内部，下表面板与上表面板相对，并且下表面板支撑要被粘合到上基板的下基板；升降驱动器，其驱动下表面板上、下移动；以及控制器，控制升降驱动器朝着上表面板移动以对上基板和下基板进行粘合，并且当隔膜膨胀时控制升降驱动器，以使得下表面板的向下移动速度能够逐步变化。因此，当使粘结到粘结卡盘的基板与粘结卡盘分离时，对粘结到粘结卡盘上的上基板的分离速度进行控制以稳定地保持上基板的粘合位置，从而提高了基板的粘合效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术提供了一种基板粘合装置以及方法，并且更具体地讲，涉及一种使用粘结卡盘来粘合基板的基板粘合装置以及方法。
技术介绍
本申请要求享有2010年9月2日提交的申请号为No. 10-2010-0085999的韩国专利申请和2011年3月29日提交的申请号为No. 10-2011-0027968的韩国专利申请的优先权，它们的所有内容以引证的方式整体地结合于此。基板粘合装置是一种用于粘合两块基板以制造平面显示面板的装置，该装置被用于制造各种平面显示面板，例如液晶显示器(IXD)、等离子体显示面板(PDP)、有机发光二极管(OLED)等。为了粘合基板，该基板粘合装置包括用于支撑基板的基板卡盘。通常使用多种基板卡盘和静电卡盘。静电卡盘使用静电力卡住该基板。因此，该静电卡盘消耗电能以产生静电力。该静电卡盘需要电源，并且制造和控制静电卡盘非常困难。此外，静电卡盘的制造成本非常高。为了解决静电卡盘的诸多问题，已经开发了以一种粘结卡盘作为静电卡盘的替代卡盘。作为粘结卡盘的常规技术，已经披露了公开号为No. 10-2006-0133942的韩国专利公开。在此常规技术中，该粘结卡盘使用一种用于将基板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：黄载锡，
申请(专利权)人：丽佳达普株式会社，
类型：发明
国别省市：