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基板粘合装置以及基板粘合方法制造方法及图纸
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文档序号:7204583
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一种基板粘合装置以及基板粘合方法,该基板粘合装置包括:腔体;上表面板,其被布置在腔体内部,并且上表面板包括用于粘结上基板的粘结部件、和进行膨胀以使上基板与粘结部件分离的隔膜;下表面板,其被布置在腔体内部,下表面板与上表面板相对,并且下表面板...
该专利属于丽佳达普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过丽佳达普株式会社授权不得商用。
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