用于有机材料的蒸发器制造技术

本发明专利技术描述一种用于汽化有机材料的蒸发器。该蒸发器包括第一腔室，其具有调适成导向要涂布的衬底的喷嘴；至少一个第二腔室，用于汽化有机材料；至少一个蒸汽通道，用于将汽化的有机材料自该至少一个第二腔室引导至该第一腔室；其中该第一腔室调适成将汽化的有机材料提供给该喷嘴，该喷嘴对应于第一实质升华表面，且该至少一个第二腔室调适成在操作期间提供第二升华表面区域，其中该第二升华表面区域对应于该第一实质升华表面的至少７０％。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例涉及一种用于汽化(vaporizing)有机材料(尤其是三聚氰胺) 的蒸发器。另外，本专利技术涉及一种使用有机材料(尤其是三聚氰胺)涂布衬底的方法。
技术介绍
一般而言，三聚氰胺(melamine)可被蒸发(升华)。通常，要汽化的材料布置在矩形坩埚中，在坩埚中置有要汽化的材料。坩埚可置放于蒸发管中，且可用加热装置或加热系统来加热该蒸发管。坩埚必须加热至使三聚氰胺蒸发的温度。三聚氰胺的蒸发温度为约 250°C至300°C。三聚氰胺在约330°C的温度就会燃烧。因此，不能通过改变加热装置的温度来显著提高蒸发速率。另外，蒸发管必须调适成要涂布的衬底或薄片(web)的宽度。因此，当具有邻近衬底或薄片直接置放的喷嘴的坩埚或蒸发器调适成要涂布的衬底或薄片的宽度时，只有具有有限宽度的衬底或薄片可使用于有效处理。因此，蒸发器沿着衬底宽度具有约1600mm的长度。因此，希望提供一种改良的蒸发器，特别适用于三聚氰胺的蒸发器，其允许更一致或均勻地沉积三聚氰胺。另外，希望提供一种可用于三聚氰胺且易于使用和制造的蒸发器， 以及一种在柔性衬底或薄片(特别是大宽度的衬底或薄片)上提供三聚氰胺的均勻涂布的方法。
技术实现思路
根据一实施例，提供一种用于汽化有机材料的蒸发器。该蒸发器包括第一腔室，其具有喷嘴，该喷嘴调适成导向要涂布的衬底；至少一个第二腔室，用于汽化有机材料；至少一个蒸汽通道，用于将汽化的有机材料自该至少一个第二腔室引导至该第一腔室；其中该第一腔室调适成将汽化的有机材料提供给该喷嘴，该喷嘴对应于第一实质升华表面，且该至少一个第二腔室的一个或多个腔室调适成在操作期间提供组合的第二升华表面区域，其中该第二升华表面区域对应于该第一实质升华表面的至少70%。根据另一实施例，提供一种使用蒸发器用有机材料来涂布衬底的方法，该蒸发器具有第一腔室及第二腔室。该方法包括在操作期间，在具有第二升华表面区域的第二腔室中升华该有机材料；将该升华的有机材料自该第二腔室引导至该第一腔室，该第一腔室具有喷嘴，该喷嘴导向衬底以将该升华的有机材料沉积在衬底上，其中该第一腔室调适成将汽化的有机材料提供给该喷嘴，该喷嘴对应于第一实质升华表面，其中该第二升华表面区域对应于该第一实质升华表面的至少70%。根据又另一实施例，提供一种用于汽化三聚氰胺的蒸发器，其包括第一腔室，该第一腔室具有喷嘴，该喷嘴调适成导向要涂布的衬底；至少一个第二腔室，用于汽化三聚氰胺；至少一个蒸汽通道，用于将汽化的三聚氰胺自该至少一个第二腔室引导至该第一腔室； 其中该至少一个第二腔室的一个或多个腔室调适成在操作期间提供约0. 34m2或以上的组合第二升华表面区域。附图简述为了详细了解本专利技术的上述特征，可参照多个实施例给出如上概要的本专利技术更具体的描述，部分实施例在附图中示出。然而应了解到，附图仅说明本专利技术的代表性实施例， 因此不应用来限制本专利技术范围，因为本专利技术可允许其它等效实施例。附图说明图1示出蒸发器组件的示意图；图2示出第一腔室的进一步实施例；图3示出第一腔室的另一实施例；图4示出第一腔室的又一实施例；图5示出用于蒸发三聚氰胺的第二腔室的进一步实施例；图6示出用于蒸发三聚氰胺的第二腔室的另一实施例；图7示出用于蒸发三聚氰胺的第二腔室的又一实施例；以及图8示出方法的流程图。具体实施例方式现将参照各种实施例做详细说明，这些实施例的一个或多个示例在附图中示出。 提供各示例作为解释之用且不作为本专利技术的限制。在以下附图描述内，相同附图标记指示相同组件。一般而言，仅针对个别实施例的差异处进行描述。一些有机材料，如三聚氰胺，可在IO-2Hibar (毫巴)下，约300°C下，尤其在约210°C 到约320°C之间蒸发或升华。在另一实施例中，三聚氰胺在约250°C和310°C下蒸发。要升华的三聚氰胺在比升华温度稍高的温度下燃烧。举例而言，三聚氰胺在约330°C下燃烧。因此，必须控制要蒸发的三聚氰胺的温度。通常，因为三聚氰胺在较高温度下不是进行蒸发而会燃烧，所以必须在狭窄温度范围内供热，因此蒸发器的蒸发速率不能通过提高蒸发温度来显著提升。因此，为了提供三聚氰胺的一致或均勻涂布，必须将蒸发的三聚氰胺以适用于大宽度衬底或薄片的基本一致方式和/或速率提供至蒸发器的喷嘴。在下文中，参照三聚氰胺进行说明。然而，应了解实施例亦可应用于其它有机材料，这些其它有机材料具有在其中可能蒸发且在略高于期望蒸发温度的温度下材料燃烧的相对小的范围，例如，仅比期望蒸发温度高出70°C，尤其仅高出50°C或甚至只高出约30°C。 通常，本文中所描述的实施例还可在有机发光二极管(OLED)的生产中用于沉积有机材料。图1示出说明蒸发器组件(vaporizer assembly)实施例的示意图。该蒸发器组件包括外壳10。该外壳内部具有约5_3mbar至约l_2mbar，通常约10_2mbar的压力。要处理的薄片(web)或衬底22在输送方向上经引导通过外壳10。薄片或衬底22在与该输送方向正交且具有预定宽度W。根据一可与本文中其它实施例组合的实施例，该衬底的宽度范围在一特定实施例中可在约1. 2m与^!之间，通常在约an与3. 5m之间。在外壳10中，用三聚氰胺或其它材料涂布衬底22。在外壳10中，设置有转动的转筒20用以引导衬底22。提供转筒20用来形成通过第一腔室30的喷嘴32前方的衬底22的支承件。喷嘴32喷射要沉积在衬底22上的蒸发或升华的三聚氰胺。第一腔室30将升华的三聚氰胺提供给喷嘴32。因此，第一腔室30中的蒸发的三聚氰胺通过喷嘴32并沉积在衬底或薄片22上。在典型实施例中，转筒20可被冷却以使该升华的三聚氰胺在短时间内在衬底22上解除升华状态(desublimate)。因而减小该柔性衬底上的热负荷。根据可与本文中所描述其它实施例组合的一些实施例，具有喷嘴32的第一腔室 30布置在支承着衬底22的转筒20下方或在与转筒相对。随后，第一腔室32的喷嘴32向上导向。在另一实施例中，喷嘴32可布置在第一腔室30的侧壁中，尤其当支承衬底22的转筒20布置成与喷嘴32水平地间隔开来，且喷嘴32朝向衬底22排放升华的三聚氰胺的动作基本上水平导向时。在一些实施例中，喷嘴32具有狭缝开口，该狭缝开口大致平行于该转筒的旋转轴和/或衬底22的宽度而纵向延伸(longitudinal extension)。在其它实施例中，喷嘴32 亦可具有若干开口，这些开口布置成覆盖衬底22宽度的基本上一部分，尤其覆盖衬底22的完整宽度。根据可与本文中所描述实施例的任一个组合的另一实施例，可通过在附图中未示出的关闭件(shutter)来关闭或打开该狭缝开口或诸开口。在可与本文中所描述其它实施例组合的典型实施例中，第二腔室40置于外壳10 外部。可用三聚氰胺42至少部分地填充第二腔室40。第二腔室40具有腔室壁44。加热装置46置于第二腔室40的腔室壁44的外表面上。当加热装置启动时，加热装置46的热通过第二腔室40的腔室壁44并加热第二腔室40中的三聚氰胺42。当三聚氰胺由加热装置46加热至升华温度时，尤其约250°C至320°C时，通常约300°C时，三聚氰胺42通常在腔室壁44处开始升华。升华表面48(图1中的虚线)可定义为腔室壁44被三聚本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于汽化有机材料的蒸发器，包含：第一腔室，其具有喷嘴，所述喷嘴调适成导向要涂布的衬底；至少一个第二腔室，用于汽化所述有机材料；至少一个蒸汽通道，用于将所述汽化的有机材料自所述至少一个第二腔室引导至所述第一腔室；其中所述第一腔室调适成将汽化的有机材料提供给所述喷嘴，所述喷嘴对应于第一实质升华表面，且所述至少一个第二腔室的一个或多个腔室调适成在操作期间提供组合的第二升华表面区域，其中所述组合的第二升华表面区域对应于所述第一实质升华表面的至少７０％。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·海恩，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US