有机材料的蒸发器及蒸发有机材料的方法技术

本发明专利技术描述一种用于汽化欲沉积于一挠性基板上的有机材料的蒸发器。该蒸发器包括：一蒸发管，其具有一壁，该壁包围一用于汽化该有机材料的空腔；至少一个加热装置，其邻近于该壁配置且适以加热该蒸发管；至少一个自该蒸发管突出的喷嘴组件，其中该喷嘴组件进一步包含一具有一开口的喷嘴盖；及一挡门，该挡门用于选择性开启及关闭该喷嘴盖的该开口，其中该挡门被适配成在操作该蒸发管时具有在１４０℃的挡门温度范围内的温度，以使得该喷嘴盖的温度在该挡门温度范围内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例是关于使有机材料汽化，例如使有机材料汽化的蒸发器，蒸发有机材料的方法。详言之，这些实施例是关于汽化三聚氰胺(melamine)的蒸发器及其操作方法。
技术介绍
一般而言，有机材料(如三聚氰胺)可被蒸发(升华)。通常，欲汽化的材料是配置在矩形坩埚中，而在坩埚中设置该欲汽化的材料。坩埚可置放于汽化器管中，且该汽化器管可用加热组件或加热系统来加热。坩埚必须加热至使有机材料蒸发的温度。通常，汽化器管具有一开口，经汽化的材料通过该开口以沉积于一邻近该汽化器管的开口而置放的基板上。通常，基板置放于该开口上方。然而，喷嘴蒸发器可能因此被欲蒸发的材料而堵塞。因此，希望提供一种用于蒸发材料的改良蒸发器及一种用于蒸发材料的改良方法。因此，(举例而言)希望提供一种蒸发管，其允许汽化的材料的均勻或均质地沉积。另外，涂布装置应易于使用及制造，且该方法应易于实施。
技术实现思路
根据一实施例，提供一种用于汽化欲沉积于一挠性基板上的有机材料的蒸发器。 该蒸发器包括一蒸发管，其具有一壁，该壁包围一用于汽化该有机材料的空腔；至少一个加热装置，其邻近该壁配置且适以加热该蒸发管；至少一个自该蒸发管突出的喷本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于汽化欲沉积于一挠性基板上的有机材料的蒸发器，包含：蒸发管，其具有一壁，该壁包围一用于汽化该有机材料的空腔；至少一个加热装置，其配置以加热该蒸发管；该蒸发管具有至少一个喷嘴组件，其中该壁的平均热导率约为２００Ｗ／ｍ·Ｋ或更高，该壁的厚度为６ｍｍ或更高。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·海恩，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US