有机材料的蒸发器及蒸发有机材料的方法技术

本发明专利技术描述一种用于汽化欲沉积于一挠性基板上的有机材料的蒸发器。该蒸发器包括：一蒸发管，其具有一壁，该壁包围一用于汽化该有机材料的空腔；至少一个加热装置，其邻近于该壁配置且适以加热该蒸发管；至少一个自该蒸发管突出的喷嘴组件，其中该喷嘴组件进一步包含一具有一开口的喷嘴盖；及一挡门，该挡门用于选择性开启及关闭该喷嘴盖的该开口，其中该挡门被适配成在操作该蒸发管时具有在１４０℃的挡门温度范围内的温度，以使得该喷嘴盖的温度在该挡门温度范围内。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的实施例是关于使有机材料汽化，例如使有机材料汽化的蒸发器，蒸发有机材料的方法。详言之，这些实施例是关于汽化三聚氰胺(melamine)的蒸发器及其操作方法。
技术介绍
一般而言，有机材料(如三聚氰胺)可被蒸发(升华)。通常，欲汽化的材料是配置在矩形坩埚中，而在坩埚中设置该欲汽化的材料。坩埚可置放于汽化器管中，且该汽化器管可用加热组件或加热系统来加热。坩埚必须加热至使有机材料蒸发的温度。通常，汽化器管具有一开口，经汽化的材料通过该开口以沉积于一邻近该汽化器管的开口而置放的基板上。通常，基板置放于该开口上方。然而，喷嘴蒸发器可能因此被欲蒸发的材料而堵塞。因此，希望提供一种用于蒸发材料的改良蒸发器及一种用于蒸发材料的改良方法。因此，(举例而言)希望提供一种蒸发管，其允许汽化的材料的均勻或均质地沉积。另外，涂布装置应易于使用及制造，且该方法应易于实施。
技术实现思路
根据一实施例，提供一种用于汽化欲沉积于一挠性基板上的有机材料的蒸发器。 该蒸发器包括一蒸发管，其具有一壁，该壁包围一用于汽化该有机材料的空腔；至少一个加热装置，其邻近该壁配置且适以加热该蒸发管；至少一个自该蒸发管突出的喷嘴组件，其中该喷嘴组件进一步包含一具有一开口的喷嘴盖；及一挡门(shutter)，其用于选择性开启及关闭该喷嘴盖的该开口，其中该挡门被适配成在操作该蒸发管时具有在140°C的挡门温度范围内的温度，以使得该喷嘴盖的温度在该挡门温度范围内。根据另一实施例，提供一种用于汽化欲沉积于一挠性基板上的有机材料的蒸发器。该蒸发器包括一蒸发管，其具有一壁，该壁包围一用于汽化该有机材料的空腔；至少一个加热装置，其邻近该壁配置且适以加热该蒸发管；至少一个自该蒸发管突出的喷嘴组件，其中该喷嘴组件进一步包含一具有一开口的喷嘴盖；及一挡门，其用于选择性开启及关闭该喷嘴盖的该开口，其中该挡门被适配成在操作该蒸发管时具有介于一比该喷嘴盖的温度低50°C的第一温度与一比该喷嘴盖的温度高50°C的第二温度之间的温度。根据另一实施例，提供一种用于汽化欲沉积于一挠性基板上的三聚氰胺的蒸发器。该蒸发器包括一蒸发管，其具有一壁，该壁包围一用于汽化该三聚氰胺的空腔；至少一个加热装置，其经配置以加热该蒸发管；该蒸发管具有至少一个喷嘴组件，其中该壁的平均热导率为约200W/m · K或更高，且该壁的厚度为6mm或更高。根据另一实施例，提供一种适于在一挠性基板上汽化三聚氰胺的蒸发器。该蒸发器包括一蒸发管，其具有一壁，该壁包围一用于汽化该三聚氰胺的空腔；至少一个加热装置，其邻近该壁配置且适以将该蒸发管加热至200°C至350°C的范围内的温度，且蒸发管的该温度的温度均勻性为士3% ；至少一个自该蒸发管突出的喷嘴组件，其中该喷嘴组件进一步包含一具有一开口的喷嘴盖；及一挡门，其用于选择性开启及关闭该喷嘴盖的该开口，其中该挡门被适配成在操作该蒸发管时具有介于一比该喷嘴盖的温度低50°C的第一温度与一比该喷嘴盖的温度高50°C的第二温度之间的温度，且其中提供一用于加热该挡门的挡门加热器或该挡门具有4mm或4mm以下的厚度。根据另一实施例，提供一种用于蒸发三聚氰胺的方法。该方法包括将一蒸发管中的三聚氰胺加热至使该三聚氰胺汽化的温度，其中该蒸发管包含一包围一用于汽化该三聚氰胺的空腔的壁及至少一个自该蒸发管突出的喷嘴组件，其中该喷嘴组件进一步包含一具有一开口的喷嘴盖，及一挡门，其具有该喷嘴的该开口为基本上关闭所处的一关闭位置及该三聚氰胺可通过该开口所处的一开启位置；将该挡门自该关闭位置移动至该开启位置； 及将该挡门加热至介于一比该喷嘴盖的温度低50°C的第一温度与一比该喷嘴盖的温度高 50 0C的第二温度之间的温度。附图说明因此，可详细理解本专利技术的上述特征结构的方式，即上文简要概述的本专利技术的更特定描述可参照实施例进行，一些实施例图示于附加图式中。然而，应注意，附加图式仅图示本专利技术的典型实施例，且因此不欲视为本专利技术范畴的限制，因为本专利技术可以允许其它同等有效的实施例。图1显示一汽化器组件的一侧视图；图2显示一蒸发管的一立体视图；图3显示一供欲汽化的材料用的坩埚；图4显示该喷嘴组件的一放大侧视图；图5显示一挡门的一实施例；图6显示一挡门的另一实施例；图7显示一挡门的另一实施例；图8显示一蒸发管的一实施例的一放大侧视图；图9显示一蒸发管的另一实施例的一放大侧视图；及图10以侧视图显示一蒸发管的另一实施例。具体实施例方式现将详细提及各种实施例，这些实施例的一或多个实例图标于图中。各实例是以解释说明方式提供且不欲作为本专利技术的限制。在以下图式描述内，相同组件符号是指相同组件。一般而言，仅仅描述关于个别实施例的差异。通常，例如三聚氰胺的有机材料可在10_2mbar，且在约300°C下，尤其在约210°C与约320°C之间蒸发或升华。在另一实施例中，该有机材料在约250°C及310°C之间蒸发。一些欲升华的有机材料在比升华温度稍高的温度下燃烧。举例而言，三聚氰胺在约330°C燃烧。因此，必须控制欲蒸发的材料的温度。通常，由于必须在狭窄温度范围内提供热，所以有机材料的蒸发速率不能藉由增大蒸发温度而显著地增加，因为材料在较高温度下不会蒸发反而会燃烧。因此，为提供有机材料的均勻或均质涂层，对有机材料的热供应不能以位置及时间为函数而大幅度地变化。图1显示一侧视图，其说明一蒸发组件的实施例。蒸发组件1包括一蒸发管10及一喷嘴组件20。一圆筒(drum) 30支撑一挠性腹板(web)或一基板，而蒸发的材料则待沉积于该挠性腹板或基板上。因此，举例而言，圆筒30可经冷却以便减小该挠性基板上的热负荷。蒸发组件1可进一步包括一容纳该蒸发管及该喷嘴组件的腔室50。根据可与本文中所述的其它实施例组合的一些实施例，一坩埚14可提供于蒸发管10内。因此，与具有一相似蒸发管但并不包括一坩埚的实施例相比，可实现更均勻的加热。根据可与本文中所述的其它实施例组合的一些实施例，一助黏剂发射器 (adhesion promoter emitter) 40可配置于蒸发器管10与圆筒30之间，以使得该助黏剂朝欲藉由欲蒸发的材料而涂布的基板或腹板投射。该助黏剂发射器可(例如)为一甲醇蒸发器。甲醇蒸发器为具有一受热气体导引系统及一受热气体喷枪的液体蒸发器。该助黏剂发射器的该气体喷枪可经置放以使得蒸发管10中的一团欲蒸发的有机材料与一团该助黏剂混合ο蒸发管10、助黏剂发射器40及喷嘴组件20可置放于一共享腔室50中，该共享腔室具有一开口 52，且该开口 52是基本上由圆筒30关闭的，藉此，在一实施例中，可于腔室 50内提供次大气压力(sub-atmospheric pressure) 0根据一些实施例，该腔室内部的压力可处于约5_3mbar至l_2mbar，通常处于约10_2mbar。腔室50内的压力可取决于欲蒸发的材料，尤其是欲蒸发的有机材料而定。图1更显示出一用以抽空该腔室50的泵54。如图1中所示，喷嘴组件20自蒸发管10突出。喷嘴组件20包括一具有一开口 24 的喷嘴盖22，来自蒸发管10的经蒸发的材料通过该开口。根据可与本文中所述的其它实施例组合的一些实施例，该开口可提供为一狭缝开口，在操作时，例如三聚氰胺的经蒸发的材料通过该狭缝开口本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于汽化欲沉积于一挠性基板上的有机材料的蒸发器，包含：蒸发管，其具有一壁，该壁包围一用于汽化该有机材料的空腔；至少一个加热装置，其配置以加热该蒸发管；该蒸发管具有至少一个喷嘴组件，其中该壁的平均热导率约为２００Ｗ／ｍ·Ｋ或更高，该壁的厚度为６ｍｍ或更高。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·海恩，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US