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本发明描述一种用于汽化欲沉积于一挠性基板上的有机材料的蒸发器。该蒸发器包括：一蒸发管，其具有一壁，该壁包围一用于汽化该有机材料的空腔；至少一个加热装置，其邻近于该壁配置且适以加热该蒸发管；至少一个自该蒸发管突出的喷嘴组件，其中该喷嘴组件进一...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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