本发明专利技术中，即使由并联连接的加热灯构成的负载为３的倍数以外个，也能够以在一次侧没有负担的方式均等地施加电压。在负载（６５）中，分为３的倍数的个数和２的倍数的个数，将三个一次绕组进行Ｙ接线或△接线并施加三相交流电压，在多个三相变压器内的与一次绕组分别磁耦合的同一匝数的二次绕组（４２）上连接３的倍数个数的负载，在斯科特变压器内的将Ｍ座一次绕组的匝数二分割的中点，连接Ｍ座一次绕组的（）／２倍的匝数的Ｔ座一次绕组的一端并施加三相交流电压，在一个以上的斯科特变压器内的与Ｍ座一次绕组和Ｔ座一次绕组分别磁耦合的相同匝数的二次绕组（４２）上，连接２的倍数的负载，不会出现未连接有负载（６５）的二次绕组（４２）。能够不增大一次侧的负担地对加热灯（１５）均等地施加交流电压。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及溅射处理、蒸镀处理、蚀刻处理等将处理对象物在真空环境内边加热边处理的加热真空处理方法，特别是涉及用加热灯加热处理对象物的技术。
技术介绍
将半导体晶片或液晶玻璃基板作为处理对象物，进行通过溅射或蒸镀在处理对象物上形成薄膜、或通过蚀刻等对处理对象物上的薄膜进行构图这样的处理。在进行这样的处理时，处理对象物被加热，进行加热真空处理，担除将通过通电而进行发热的电阻发热体作为加热装置使用外，还将能够配置于离开处理对象物的位置的加热灯作为加热装置使用。在热传导率小的真空中，以辐射为主对处理对象物进行加热，因此，加热灯需要大电流，将高压的三相交流电源进行低电压变换而供给电力。低电压化还具有在真空室内缩小施加电压的部分与接地的真空室的槽壁之间的电位差的优点，只要是100V以下的电位差就不会产生放电。将规定个数的加热灯作为一负载，从三相变压器内的一个二次绕组供给电力，但是，因为三相交流电源具有三个二次绕组，所以，在负载是3的倍数以外的个数的情况下， 会产生具有无负载的二次绕组的三相变压器，从三相交流电源的各相供给的电流变得不平衡，使用效率降低，因此，需要大容量的三相变压器。专利文献1 日本特开平10 - 294285号公报专利文献2 日本特开2002 - 190452号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术是为了解决上述现有技术的不便而创作出的，其目的是，提供一种即使在负载个数不是3的倍数的情况下一次侧的负担也少的真空加热装置。用于解决问题的方案三相变压器具有三个配置有一次绕组和二次绕组且进行磁耦合的变压器。图8 (a)的附图标记21和同图(b)的附图标记22分别表示将三个单相变压器 55 57内的一次绕组51 53进行Δ接线的三相变压器和进行Y接线的三相变压器。对三相变压器21、22的各一次绕组51 53分别各磁耦合有一个二次绕组61 63。在本专利技术中，使用了多个图8 (a)的三相变压器21或同图(b)的三相变压器22。 从三相交流电源50，分别从R相、S相、T相输出大小相同但相位相差120°的交流电压，并将其施加给Δ接线或Y接线的三相变压器21、22的一次绕组51 53。在此，在使用Δ接线或Y接线的任一个三相变压器21、22的情况下，三相变压器 21,22内的一次绕组51 53的匝数都相互相等，另外，三相变压器21、22内的二次绕组61 63的匝数也相互相等。各一次绕组51 53和二次绕组61 63的耦合系数也相同，因此，当在一个三相变压器21、22的各二次绕组61 63上连接相同大小的负载65时，会在该三相变压器21、 22的三个一次绕组51 53中平衡良好地流过相同值的电流。接着，说明在本专利技术中使用的斯科特变压器(Scott transformer).图9的附图标记23是斯科特变压器，其具有M座变压器(主座变压器)(Main Transformer) 58 禾口 T 座变Bi器(Teaser Transformer) 59。在M座变压器58内设有M座一次绕组71和与M座一次绕组71磁耦合的二次绕组81，在T座变压器59内设有T座一次绕组72和与T座一次绕组72磁耦合的二次绕组 82。在M座一次绕组71中，从该M座一次绕组71的绕组的数目为一半的中点64取出布线，T座一次绕组72的一端通过该布线连接于中点64。M座一次绕组71的两端与作为三相交流电源50的R相、S相、或T相中的任一相的、相互不同的相的输出端子连接，并被施加从该输出端子输出的相位的交流电压。T座一次绕组72的另一端与三相交流电源50的R相、S相、或T相中的未连接于 M座一次绕组71的相的输出端子连接，并被施加从该输出端子输出的相位的交流电压。如上所述，M座一次绕组71的一端和中点64之间的匝数为M座一次绕组71的两端间的绕组的一半，当将M座一次绕组71的匝数设为M时，中点64与M座一次绕组71的端部之间的绕组的匝数在与任一端部之间均为M/2。在该构成中，相对于M座变压器58内的M座一次绕组71的两端的交流电压，在T 座变压器59的T座一次绕组72的两端产生的交流电压的相位差为90° (或一 90° )，另外，当将M座一次绕组71的两端间的交流电压设为“V”时，在T座一次绕组72的两端产生的交流电压为权利要求1.一种真空加热装置，其具有电压变换装置，其被输入三相交流电源所输出的三相交流电压，并将所述三相交流电压的大小被变换后的交流电压作为二次电压输出；以及多个负载，其各设置有规定个数的能并联通电的加热灯， 对所述加热灯输入所述二次电压，从所述加热灯放射热射线， 其中，所述真空加热装置构成为 所述电压变换装置具有三相变压器，其具有进行Y接线或Δ接线并被施加三相交流电压的三个一次绕组、和与所述一次绕组分别磁耦合的三个二次绕组，一个所述二次绕组向一个所述负载分别供给电力；以及斯科特变压器，其具有M座变压器和T座变压器，所述M座变压器内的M座一次绕组的两端与作为所述三相交流电压中的任一相的、相互不同的一相分别连接，所述T座变压器内的T座一次绕组的一端连接于将所述M座一次绕组的匝数二分割的中点，另一端连接于所述三相交流电压中剩余的一相，与所述M座一次绕组磁耦合的二次绕组和与所述T座一次绕组磁耦合的二次绕组做成相同的匝数，所述T座一次绕组做成所述M座一次绕组的(S ) /2倍的匝数，使用多个所述三相变压器和一个以上的所述斯科特变压器，选择当进行合计时成为负载的个数N的3的倍数ρ和2的倍数q，对所述3的倍数ρ个负载通过所述三相变压器供给电力，对所述2的倍数q个负载通过所述斯科特变压器供给电力，使所述加热灯发热。2.根据权利要求1所述的真空加热装置，其中， 所述负载设有3的倍数以外的个数。3.根据权利要求1或权利要求2的任一项所述的真空加热装置，其中，所述负载具有并联连接有多个所述加热灯的第一模块和并联连接有与所述第一模块相同数目的所述加热灯的第二模块，所述三相变压器和所述斯科特变压器内的所述二次绕组中，将匝数二分割的中点被接地，在所述第一模块和所述第二模块连接有双向开关，所述第一模块与所述双向开关的串联电路、和所述第二模块与所述双向开关的串联电路连接于所述二次绕组的一端与另一端之间。4.一种真空加热处理方法，其使3的倍数以外的个数的、各设置有规定个数的并联通电的加热灯的负载通电发热，在真空环境内加热处理对象物，其中，在所述负载中，分为3的倍数的个数和2的倍数的个数，将三相变压器内的三个一次绕组进行Y接线或Δ接线并施加三相交流电压，在多个所述三相变压器内的与所述一次绕组分别磁耦合的相同匝数的二次绕组上连接3的倍数个数的负载，对斯科特变压器内的M座一次绕组的两端施加所述三相交流电压中不同相的交流电压，在将所述M座一次绕组的匝数二分割的中点，连接所述M座一次绕组的(万)/2倍的匝数的T座一次绕组的一端，对另一端施加所述三相交流电压中剩余的相的交流电压，在一个以上的所述斯科特变压器内的与所述M座一次绕组和所述T座一次绕组分别磁耦合的相同匝数的二次绕组上，连接2的倍数的所述负载，并对所述负载内的所述加热灯通电使其发热。5.根据权利要求4所述的真空加热处理方法，其中，预先设定相比室温为高温且相比使所述处理对象物升温的处理温度为低温的变更温度，在本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种真空加热装置，其具有：电压变换装置，其被输入三相交流电源所输出的三相交流电压，并将所述三相交流电压的大小被变换后的交流电压作为二次电压输出；以及多个负载，其各设置有规定个数的能并联通电的加热灯，对所述加热灯输入所述二次电压，从所述加热灯放射热射线，其中，所述真空加热装置构成为：所述电压变换装置具有：三相变压器，其具有进行Ｙ接线或△接线并被施加三相交流电压的三个一次绕组、和与所述一次绕组分别磁耦合的三个二次绕组，一个所述二次绕组向一个所述负载分别供给电力；以及斯科特变压器，其具有Ｍ座变压器和Ｔ座变压器，所述Ｍ座变压器内的Ｍ座一次绕组的两端与作为所述三相交流电压中的任一相的、相互不同的一相分别连接，所述Ｔ座变压器内的Ｔ座一次绕组的一端连接于将所述Ｍ座一次绕组的匝数二分割的中点，另一端连接于所述三相交流电压中剩余的一相，与所述Ｍ座一次绕组磁耦合的二次绕组和与所述Ｔ座一次绕组磁耦合的二次绕组做成相同的匝数，所述Ｔ座一次绕组做成所述Ｍ座一次绕组的（ ）／２倍的匝数，使用多个所述三相变压器和一个以上的所述斯科特变压器，选择当进行合计时成为负载的个数Ｎ的３的倍数ｐ和２的倍数ｑ，对所述３的倍数ｐ个负载通过所述三相变压器供给电力，对所述２的倍数ｑ个负载通过所述斯科特变压器供给电力，使所述加热灯发热。...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：吉元刚，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP
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