带有排气处理设备的干膜制造系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种干膜制造系统。在干膜的制造流程中，即使在排气处理装置中产生事故也不会导致生产性降低，且能降低CO2的排出量，并能对使用过的溶剂进行再利用。该干膜制造系统具有：涂敷设备，其用于将含有溶剂的感光性树脂组合物溶液涂敷到载体膜上；干燥设备，其用于从该涂敷后的感光性树脂组合物溶液中产生含有溶剂的排气；至少不同的两种以上的排气处理设备，其用于对上述排气进行处理；其特征在于：不同的两种以上的排气处理设备和上述干燥设备相连接。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种带有排气处理设备的干膜制造系统。
技术介绍
以往，作为感光性树脂组合物，例如有电子电路用印刷电路板所使用的干膜。干膜在制造阶段会经过将作为感光性树脂组合物的光致抗蚀剂承载到PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯；聚酯)等载体膜上的工序。此时，需要将感光性树脂组合物的原料溶解到溶剂中，因此在将光致抗蚀剂承载到载体膜上之后，通过进行干燥，使溶剂挥发，放出溶剂的排气。该排气的浓度通常从大约IOOppm 百分之几，因此通常为了防止环境污染，会设置排气处理设备。另外，排气处理设备通常仅在干膜制造工序，即膜干燥设备的下游设置一处。因此，当排气处理设备因某种事故而停止运转时，干膜的生产就不得不停止。另外，排气处理设备一般为通过燃烧进行氧化处理的设备。然而，该方法存在着会排出通过燃烧所进行的氧化处理中产生的C02、以及无法对使用过的溶剂进行再利用的问题。因此，人们知道为了对上述溶剂进行再利用，而利用对排气中的溶剂成分进行吸附和释放的吸附释放设备(专利文献1)。然而，干膜的制造流程中使用的溶剂种类较多，且排气中的溶剂气体浓度也范围较广，因此仅靠吸附释放设备无法应对所有的排气处理。专利文献1 日本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种干膜制造系统，其特征在于，至少具有：涂敷设备，其用于将含有溶剂的溶液涂敷到载体膜上；干燥设备，其用于使溶剂从该涂敷后的溶液中挥发出来；两种以上的排气处理设备，其用于对从上述干燥设备中产生的排气中的溶剂成分进行处理。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：坪井厚夫，
申请(专利权)人：旭化成电子材料株式会社，
类型：实用新型
国别省市：JP