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真空管新型排气工艺方法技术

技术编号:13862527 阅读:117 留言:0更新日期:2016-10-19 11:14
本发明专利技术公开了真空管新型排气工艺方法,该方法在真空度达到10E-4~10E-3Pa时,短时间内将温度加热到450℃至470℃,此时封离排气嘴,这样可以使得真空管的真空度更高,同时由于封离排气嘴的时间比较短,对真空管的损伤比较小,高温也使得扩散泵抽真空效率提高,缩短了工时。保温温度设定逐次提高,温度梯度小,防止和减少膜层氧化,避免膜层分子迁移变色。10E-4~10E-3Pa的高真空,让真空管寿命大为延长。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空管新型排气工艺方法,尤其涉及一种太阳能热水器用真空管的排气工艺方法。
技术介绍
排气工序是真空管镀膜封口后的关键工序,排气的质量直接影响选择性吸收膜层的寿命和真空管的热损,进而决定了真空管的使用寿命。而排气工序是持续时间最长的工序,很大程度上决定着真空管的生产效率。现有技术真空管的排气工艺方法大概包括以下步骤:预抽真空,然后抽高真空,加热,保温一定时间,封离排气嘴,最后蒸散吸气剂,收尾。其中预抽较快,一般抽真空至10 Pa以下,预抽阶段的真空度过低,会大大增加扩散泵负荷和工作时间,加热可以使玻璃管内的气体更快的扩散出来,提高效率,但抽真空时就开启加热,夹层内的残余氧气会氧化不锈钢卡子,并使膜层内的活泼金属成分氧化,改变了膜层结构。扩散泵开启时加热,温度梯度过大,或温度过高,膜层在高温下会产生分子迁移,迁移过大,造成膜层变色。温度也不可太低,温度太低,排气所需要的时间很长,生产上又不经济。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足,提供一种效率高,防止和减少膜层氧化,避免膜层分子迁移变色的真空管新型排气工艺方法。为解决上述技术问题,本专利技术采取的技术方案为:真空管新型排气工艺方法,该方法包括如下步骤:1.开启加热器预热,温度设置在80℃至120℃,到达设定温度时再开启机械泵预抽真空至100Pa以上;2.当预抽真空低于100Pa高于10E-1 Pa时,加热器预热温度设定在180℃至220℃,不停泵,继续抽真空至10E-1~1 Pa;3.关闭机械泵,同时开扩散泵,加热温度设定调高至380℃至420℃;4.抽真空至10E-4 ~10E-3Pa,加热温度设定450℃至470℃,当达到450℃至470℃时,封离排气嘴;5.关闭加热器,降温;6.蒸散吸气剂,起蒸时间为4至6秒,总蒸时间为14至16秒,蒸散频率在340 KHz至380KHz;7.收尾。本专利技术在真空度达到10E-4 ~10E-3Pa时,短时间内将温度加热到450℃至470℃,此时封离排气嘴,这样可以使得真空管的真空度更高,同时由于封离排气嘴的时间比较短,对真空管的损伤比较小,高温也使得扩散泵抽真空效率提高,缩短了工时。保温温度设定逐次提高,温度梯度小,防止和减少膜层氧化,避免膜层分子迁移变色。10E-4 ~10E-3Pa的高真空,让真空管寿命大为延长。具体实施方式一种真空管新型排气工艺方法,该方法包括如下步骤:1.开启加热器预热,温度设置在80℃至120℃,到达设定温度时再开启机械泵预抽真空至100Pa以上;2.当预抽真空低于100Pa高于10E-1 Pa时,加热器预热温度设定在180℃至220℃,不停泵,继续抽真空至10E-1~1 Pa;3.关闭机械泵,同时开扩散泵,加热温度设定调高至380℃至420℃;4.抽真空至10E-4 ~10E-3Pa,加热温度设定450℃至470℃,当达到450℃至470℃时,封离排气嘴;5.关闭加热器,降温;6.蒸散吸气剂,起蒸时间为4至6秒,总蒸时间为14至16秒,蒸散频率在340 KHz至380KHz;7.收尾。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空管新型排气工艺方法,其特征是:其包括如下步骤:1).开启加热器预热,温度设置在80℃至120℃,到达设定温度时再开启机械泵预抽真空至100Pa以上;2).当预抽真空低于100Pa高于10E‑1 Pa时,加热器预热温度设定在180℃至220℃,不停泵,继续抽真空至10E‑1~1 Pa;3).关闭机械泵,同时开扩散泵,加热温度设定调高至380℃至420℃;4).抽真空至10E‑4 ~10E‑3Pa,加热温度设定450℃至470℃,当达到450℃至470℃时,封离排气嘴;5).关闭加热器,降温;6).蒸散吸气剂,起蒸时间为4至6秒,总蒸时间为14至16秒,蒸散频率在340 KHz至380KHz;7).收尾。

【技术特征摘要】
1.一种真空管新型排气工艺方法,其特征是:其包括如下步骤:1).开启加热器预热,温度设置在80℃至120℃,到达设定温度时再开启机械泵预抽真空至100Pa以上;2).当预抽真空低于100Pa高于10E-1 Pa时,加热器预热温度设定在180℃至220℃,不停泵,继续抽真空至10E-1~1 Pa;3).关闭机械...

【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人
申请(专利权)人:陈跃跃
类型:发明
国别省市:江苏;32

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