一种储存稳定的感光干膜及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种储存稳定的感光干膜及其制备方法，所述感光干膜依次由支撑膜层、抗蚀剂层和保护膜层构成。其中，支撑膜层为双面热封型PET，具有三层结构，由两层共聚酯PETG层和位于两层共聚酯PETG层之间的PET树脂层组成，克服了常规PET膜热封性能差的缺点。通过加热分切，使得切口处的支撑膜、抗蚀剂和保护膜快速热封，形成宽度为0.1-2.0mm的热封层，这样可以防止抗蚀剂层发生冷流，抑制边沿流胶，阻隔氧气和水汽破坏，得到储存稳定的干膜成品。另外，即使在加热条件下进行分切，也不会降低干膜的分辨率等性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具有多层结构的感光干膜，以及干膜的制备方法。技术背景在印刷电路板、引线框架、半导体封装(如球栅阵列封装、芯片尺寸封装)、金属掩膜制造等领域中，感光干膜常被用作图形转移的临时性保护材料。例如，在制造印刷电路板时，首先，在铜基板上贴合干膜抗蚀剂，用具有一定图案的掩模遮盖在感光干膜上，进行图形曝光。然后，利用弱碱性水溶液作为显影液去除未曝光部位，再实施蚀刻或电镀处理而形成图形。最后剥离去除干膜固化部分，从而实现图形转移。通常情况，感光干膜由三层结构构成，分别是支撑膜层、抗蚀剂层、保护膜层。其中，支撑膜层和保护膜层主要功能是承载和保护位于中间的抗蚀剂层。然而，感光干膜在储存和运输过程中，很容易出现储存稳定性差的问题，常见的现象是发生冷流，即抗蚀剂层中的抗蚀剂容易被支撑膜和保护膜“挤压”出去，导致抗蚀剂层出现厚薄不均匀，在后续图形转移过程中，电路图形容易发生断路等不良情况。严重的情况下，成卷干膜两端流出的抗蚀剂会粘连到一起，使用的时候很难打开。为了提高感光干膜的储存稳定性，人们做了很多的努力，专利文献US3,867,153提出，在感光干膜两端很窄的边沿区域进行光固化处理，从而阻止抗蚀剂从两端流出，提高储存稳定性。如果该方法可行，将会使生产的过程变得复杂，降低企业生产效率。专利文献US4,293,635中提到，通过(1)减小抗蚀剂中单体或者增塑剂的用量，(2)提高抗蚀剂中树脂的分子量，可以减小冷流倾向，延长储存时间，但是这会降低光聚合速度，延长曝光时间，并且增加显影时间，降低生产效率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术的不足，提供一种储存稳定的感光干膜及其制备方法。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的：一种储存稳定的感光干膜，由感光干膜经加热分切后得到，所述感光干膜依次由支撑膜层、干膜抗蚀剂层和保护膜层构成。其中，支撑膜层为双面热封型PET，具有三层结构，由两层共聚酯PETG层和位于两层共聚酯PETG层之间的PET树脂层组成；所述保护膜层为聚乙烯薄膜层。进一步地，所述共聚酯PETG层由对苯二甲酸二甲酯(DMT)、乙二醇(EG)和新戊二醇(NPG)三种单体缩聚而成。进一步地，所述双面热封型PET透光率大于90％，雾度小于3％。进一步地，所述双面热封型PET可以在120-300℃进行热封。一种储存稳定的感光干膜制备方法，包括以下步骤：(1)干膜溶液配制：将50-70重量份的碱溶性树脂、15-45重量份的单体、0.5-10重量份的光引发剂、0.5-9重量份的添加剂、30-70重量份的溶剂混合均匀，得到干膜溶液；(2)涂布与烘干：将步骤(1)得到的干膜溶液均匀涂布在双面热封型PET表面，通过温度为70℃左右的烘道将其烘干，形成干膜抗蚀剂层。(3)贴合保护膜：在抗蚀剂层表面贴合聚乙烯薄膜，获得三层结构的感光干膜。(4)加热分切干膜：将分切圆刀预先加热到100-600℃，对步骤(3)获得的感光干膜进行加热分切，使得切口处快速热封，形成宽度为0.1-2.0mm的热封层，得到储存稳定的感光干膜。进一步地，所述加热分切的速度为60-120m/min。进一步地，所述分切圆刀厚度为0.1-2.0mm。本专利技术的有益效果：感光干膜支撑膜是双面热封型PET，克服了普通PET膜热封性能差的缺点，通过加热分切，使得切口处的支撑膜、抗蚀剂和保护膜快速热封，形成宽度为0.1-2.0mm的热封层，这样可以防止抗蚀剂层发生冷流，抑制边沿流胶，阻隔氧气和水汽破坏，得到储存稳定的干膜成品。具体实施方式本专利技术提供一种储存稳定的感光干膜，由感光干膜经加热分切后得到；所述感光干膜依次由支撑膜层、干膜抗蚀剂层和保护膜层构成。其中，支撑膜层要具有高透光率、低雾度、良好热封性能与机械强度、低透湿性，选用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜，常规PET树脂可以由对苯二甲酸二甲酯(DMT)和乙二醇(EG)缩聚形成均聚物，但是在拉伸成膜的过程中容易产生结晶，如果对其进行热封处理，便会发生收缩变形。为了减小PET膜的结晶性，加入第三种单体如新戊二醇(NPG)，与DMT、EG缩聚得到PETG共聚树脂，是无定形的结构，具有良好的热封性能，同时光学性能极好。利用三层共挤的双拉生产线制备A/B/A三层复合的PET薄膜，在A层使用共聚树脂PETG，B层使用常规PET树脂，得到双面热封型的PET薄膜。其透光率大于90％，雾度小于3％。另外，从涂布性能、机械强度、成本等方面考虑，支撑膜的厚度为15-100um，优选为15-40um。干膜抗蚀剂层，包含碱溶性树脂、单体、光引发剂和添加剂。作为本专利技术的碱溶性树脂，优选含羧基的乙烯基类树脂，由不饱和羧酸和乙烯基化合物共聚得到。所述不饱和羧酸可以列举出(甲基)丙烯酸、丁烯酸、异丁烯酸、马来酸、马来酸酐、衣康酸、巴豆酸等。所述乙烯基化合物可以列举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十八酯、(甲基)丙烯酸羟甲酯、(甲基)丙烯酸羟乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、苯乙烯、α-甲基苯乙烯、羟基苯乙烯、(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基-丙烯酰胺、N-丁氧基甲基-丙烯酰胺、苯氧基乙基(甲基)丙烯酸酯、(烷氧基化)壬基苯酚(甲基)丙烯酸酯、N,N-二甲基(甲基)丙烯酸乙酯、N,N-二乙基(甲基)丙烯酸乙酯、N,N-二甲基(甲基)丙烯酸丙酯、N,N-二乙基(甲基)丙烯酸丙酯等。含羧基的乙烯基类树脂可以由上述一种或多种不饱和羧酸，和一种或多种乙烯基化合物共聚而得。其制备方法可用公知的方法，如溶液聚合、悬浮聚合等。作为本专利技术的单体，优选(甲基)丙烯酸酯单体，可以列举出(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、异冰片酯、丙烯酸四氢呋喃甲酯、双酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)双酚A二(甲基)丙烯酸酯、聚乙(丙)二醇二丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)新戊二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯等所构成的群组。作为本专利技术的光引发剂，可以用噻吨酮、苯偶姻苯基醚、二苯甲酮、苯偶姻甲基醚、N,N'-四甲基-4,4'-二氨基二苯甲酮、N,N'-四乙基-4,4'-二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种储存稳定的感光干膜，其特征在于，由感光干膜经加热分切后得到，所述感光干膜依次由支撑膜层、干膜抗蚀剂层和保护膜层构成。其中，支撑膜层为双面热封型PET，具有三层结构，由两层共聚酯PETG层和位于两层共聚酯PETG层之间的PET树脂层组成；所述保护膜层为聚乙烯薄膜层。

【技术特征摘要】
1.一种储存稳定的感光干膜，其特征在于，由感光干膜经加热分切后得到，
所述感光干膜依次由支撑膜层、干膜抗蚀剂层和保护膜层构成。其中，支撑膜
层为双面热封型PET，具有三层结构，由两层共聚酯PETG层和位于两层共聚
酯PETG层之间的PET树脂层组成；所述保护膜层为聚乙烯薄膜层。
2.根据权利要求书1所述的感光干膜，其特征在于，所述共聚酯PETG层由
对苯二甲酸二甲酯(DMT)、乙二醇(EG)和新戊二醇(NPG)三种单体缩聚
而成。
3.根据权利要求书1所述的感光干膜，其特征在于，所述双面热封型PET
透光率大于90％，雾度小于3％。
4.根据权利要求书1所述的感光干膜，其特征在于，所述双面热封型PET
可以在120-300℃进行热封。
5.一种储存稳定的感光干膜制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)干膜溶液配制：将50-70重量份的碱溶...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩传龙，李伟杰，严晓慧，李志强，黄森彪，周光大，林建华，
申请(专利权)人：杭州福斯特光伏材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33