承载装置及具有该承载装置的曝光机制造方法及图纸

一种承载装置，适于承载一待曝光工件，承载装置包含一基座及一可更换的承载盘，基座包括一顶面，及多数个设置于顶面的第一定位件，可更换的承载盘包括一可承载待曝光工件并与其尺寸相当的承载面、一可抵接于顶面的底面，及多数个设置于底面且可拆卸地与所述第一定位件相接合的第二定位件，借此，当待曝光工件尺寸改变时，便能替换具有对应待曝光工件尺寸的承载面的可更换的承载盘。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种承载装置及具有该承载装置的曝光机，特别是涉及一种承载盘可更换地组装在基座上或由基座上拆卸的承载装置及具有该承载装置的曝光机。
技术介绍
如图1及图2所示，一般曝光机1包含一机台11，一设置于机台11上的承载装置 12、一锁固于机台11上且位于承载装置12上方的承载座13，及一设置于机台11上且位于承载座13上方的曝光头14，承载座13用以承载一光罩15。承载装置12包括一马达121、 一连接于马达121顶端的螺接件122、一螺接于螺接件122上的螺杆123，及一接合于螺杆 123顶端用以承载一待曝光工件16的承载盘124。在进行曝光作业时，待曝光工件16会通过移载装置(图未示)的输送而被置放在承载盘IM上，承载装置12会将承载盘IM往上推移，使得承载盘IM上的待曝光工件16 与承载座13上的光罩15贴平，接着，借由曝光头14所产生的光线通过光罩15对待曝光工件16曝光，使得光罩15上的预设图案能转印到待曝光工件16上。为了稳固地承载待曝光工件16，承载盘124的尺寸大都会设计与待曝光工件16的尺寸相当，若要进行其它不同尺寸的待曝光工件16的曝光作业时，必须将原本的本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种承载装置，适于承载一待曝光工件；其特征在于：该承载装置包含一基座，及一可更换的承载盘，该基座包括一顶面，及多数个设置于该顶面的第一定位件，该可更换的承载盘包括一可承载该待曝光工件并与其尺寸相当的承载面、一可抵接于该顶面的底面，及多数个设置于该底面且可拆卸地与所述第一定位件相接合的第二定位件，借此，当该待曝光工件尺寸改变时，便能替换具有对应该待曝光工件尺寸的承载面的该可更换的承载盘。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：邓志明，魏荣廷，
申请(专利权)人：亿力鑫系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71