浸泡设备制造技术

一种浸泡设备，包含一储液筒，及一承载装置，储液筒形成有一浸泡槽，及一连通于该浸泡槽顶端的上开口，该浸泡槽用以供一药液容置，承载装置包括一可浸泡于该浸泡槽内的承载匣，及一设置于该储液筒与该承载匣间的驱动机构，该承载匣形成有多个相间隔排列的容置槽，各该容置槽用以供一晶圆容置，该驱动机构用以驱动该承载匣在一浸泡于该浸泡槽内的浸泡位置，及一经由该上开口移离出该浸泡槽外的进出料抬升位置间运动，当该承载匣在该进出料抬升位置时，所述容置槽沿一上下方向排列，且各该容置槽呈水平状，借此，使得浸泡设备结构简单能降低制造成本、体积小能降低所需占据的空间，以及加工流程简单能大幅缩短工时。

Immersion equipment

A soaking device comprises a liquid storage barrel and a bearing device, the liquid storage cylinder to form a soaking tank, and an opening is communicated with the soaking tank top, the soaking tank used for a liquid holding device comprises a bearing box, bearing can be soaked in the soaking tank, and one is arranged in the liquid storage barrel and the bearing box between the driving mechanism and the bearing box is formed containing groove multiple intervals, each container for holding a wafer, which is used to drive the bearing box in a position of immersion immersed in the immersion tank driving mechanism through the opening, and a shift from the soaking tank outside the feeding position between the uplift movement, when the bearing box in the feed lifting position, the containing groove arranged along a vertical direction, and the groove is horizontal, thereby, make the structure simple immersion equipment drop Low cost, small volume can reduce the required space, and can greatly shorten the processing process is simple when.

【技术实现步骤摘要】
浸泡设备
本专利技术涉及一种浸泡设备，特别是涉及一种应用在晶圆湿式制程中用以浸泡晶圆的浸泡设备。
技术介绍
半导体晶圆在微影制程后，晶圆正面会形成一薄膜。借由移载机械手臂将晶圆由微影制程的加工处理设备移载至浸泡设备后，浸泡设备会通过一夹持手臂承接并夹持晶圆，随后，通过驱动装置驱动夹持手臂移动及翻转，使得夹持手臂能将晶圆放置于浸泡槽内，以使晶圆浸泡于药液内。待晶圆浸泡在药液一段时间后，驱动装置会驱动夹持手臂将浸泡槽内的晶圆取出并将其移载至移载机械手臂上，使移载机械手臂带动晶元移动至下一个制程的加工处理设备。通过驱动装置驱动夹持手臂移动及翻转，使夹持手臂将晶圆放置于浸泡槽内或是将晶圆由浸泡槽内取出的设计方式，使得现有浸泡设备的结构复杂进而提高了制造的成本，体积庞大易占据空间，且加工步骤流程繁多易耗费工时，再者，晶圆取放过程中浸泡槽的挥发气体也很容易散发至其他作业空间中，影响作业人员身体健康。
技术实现思路
本专利技术的一目的，在于提供一种浸泡设备，其结构简单能降低制造成本、体积小能降低所需占据的空间，以及加工流程简单能大幅缩短工时。本专利技术的另一目的，在于提供一种浸泡设备，能防止承载匣在进出料抬升位置与浸泡位置间旋转的过程中药液喷溅出腔室外，并且能提升晶圆的进料或出料时的方便性，还能降低晶圆在进料或出料的过程中药液所挥发的气体大量地由腔室散发至其他作业空间。本专利技术的目的及解决
技术介绍
问题是采用于下技术方案来实现的，依据本专利技术提出的浸泡设备包含一储液筒，及一承载装置，该储液筒形成有一浸泡槽，及一连通于该浸泡槽顶端的上开口，该浸泡槽用以供一药液容置，该承载装置包括一可浸泡于该浸泡槽内的承载匣，及一设置于该储液筒与该承载匣间的驱动机构，该承载匣形成有多个相间隔排列的容置槽，各该容置槽用以供一晶圆容置，该驱动机构用以驱动该承载匣在一浸泡于该浸泡槽内的浸泡位置，及一经由该上开口移离出该浸泡槽外的进出料抬升位置间运动，当该承载匣在该进出料抬升位置时，所述容置槽沿一上下方向排列，且各该容置槽呈水平状。该驱动机构用以驱动该承载匣在该浸泡位置与该进出料抬升位置间转动，当该承载匣在该浸泡位置时，所述容置槽沿一垂直于该上下方向的前后方向排列，且各该容置槽呈竖直状。该驱动机构包含一可转动地枢接于该储液筒的转轴、一固定地连接于该转轴与该承载匣间的连接板，及一用以驱动该转轴旋转的驱动马达。该储液筒包括两个左右相间隔的侧壁，及一连接于该两侧壁前端的前壁，该转轴枢接于该两侧壁并邻近该前壁及该上开口，该承载匣包含一前板，该连接板固定地连接于该前板。浸泡设备还包含一机台，及一门装置，该机台形成一用以供该储液筒及该承载装置容置的腔室，该门装置设置于该机台用以封闭该腔室，该门装置包括一移动板，及一门板，该移动板形成有一通道孔，该移动板可沿该上下方向移动以使该通道孔与位在该进出料抬升位置的该承载匣的一选择的该容置槽位置对齐，该门板可相对于该移动板在一封闭该通道孔的关闭位置，及一未封闭该通道孔的开启位置间移动。该门装置还包括一用以驱动该移动板沿该上下方向移动的致动机构，及一设置于该移动板与该门板间的驱动元件，该驱动元件用以驱动该门板沿该上下方向在该关闭位置及该开启位置间移动。该通道孔呈长形且其长度延伸方向平行于一左右方向，该左右方向垂直该上下方向，该门板包含一用以封闭该通道孔的封闭板体，及一凸伸板体，该封闭板体呈长形且其长度延伸方向平行于该左右方向，该凸伸板体凸伸于该封闭板体的一长边，该驱动元件为一固定地设置于该移动板并且连接于该凸伸板体的气缸。该移动板呈长形且其长度延伸方向平行于该上下方向，该通道孔形成于该移动板中间处。该移动板包含一连接块，该连接块形成有一螺孔，该致动机构包含一螺接于该螺孔的导螺杆，及一用以带动该导螺杆转动的致动马达，该导螺杆沿该上下方向延伸。该门装置还包括一固定地接合于该机台的固定板，该导螺杆可转动地枢接于该固定板，该致动马达设置于该固定板上，该固定板形成有一连通于该腔室与该通道孔间的开孔，该移动板可相对于该固定板移动并且封闭该开孔。本专利技术的有益效果在于：借由承载装置的承载匣可相对于储液筒在进出料抬升位置及浸泡位置间旋转得设计，使得浸泡设备的结构简单能降低制造成本、体积小能降低所需占据的空间，以及加工流程简单能大幅缩短工时。再者，借由门装置的设计，能防止承载匣在进出料抬升位置与浸泡位置间旋转的过程中药液喷溅出腔室外，并且能提升移载机械手臂进行晶圆的进料或出料时的方便性，还能降低晶圆在进料或出料的过程中药液所挥发的气体大量地由腔室散发至其他作业空间。附图说明图1是本专利技术浸泡设备的一实施例的一立体图；图2是该实施例的一立体分解图，说明机台、储液筒、承载装置，以及门装置间的组装关系；图3是该实施例的一局部立体分解图，说明储液筒及承载装置间的组装关系；图4是该实施例的承载装置的一不完整的前视图，说明承载匣、连接板及转轴间的组装关系，图中省略驱动马达；图5是该实施例的门装置的一立体分解图；图6是该实施例的一不完整的前视图，说明门板位在关闭位置；图7是沿图6中的7－7线所截取的一剖视图，说明承载匣位在进出料抬升位置；图8是类似于图6的视图，说明门板位在开启位置；图9是该实施例的一不完整的局部视图，说明门板位在开启位置；图10是该实施例的一不完整的局部视图，说明移载机械手臂将晶圆放置于容置槽内；图11是该实施例的一不完整的局部视图，说明移载机械手臂经由通道孔移离腔室；图12是类似图7的视图，说明承载匣的所有容置槽皆容置有晶圆；图13是类似图12的视图，说明承载匣转动至浸泡位置；图14是该实施例的一不完整的局部视图，说明移载机械手臂承接晶圆；及图15是该实施例的一不完整的局部视图，说明移载机械手臂带动晶圆使其移离容置槽。具体实施方式下面结合附图及实施例对本专利技术进行详细说明。参阅图1，是本专利技术浸泡设备的一实施例，浸泡设备300适于浸泡多片晶圆1，本实施例的浸泡设备300是以应用在半导体晶圆的湿式制程中为例作说明，而各晶圆1是以经过微影制程后的晶圆为例作说明，晶圆1是通过一移载机械手臂2输送至浸泡设备300内。参阅图2及图3，浸泡设备300包含一机台3、一储液筒4，及一承载装置5。机台3形成有一腔室31，腔室31前端呈开放状用以供储液筒4及承载装置5容置。储液筒4固定地设置于腔室31内并形成有一浸泡槽41，及一连通于浸泡槽41顶端的上开口42，浸泡槽41用以供一化学药液40(如图7所示)容置。承载装置5包括一设置于储液筒4的浸泡槽41内的承载匣51，及一设置于储液筒4与承载匣51间的驱动机构52。承载匣51形成有多个相间隔排列的容置槽511，各容置槽511用以供一晶圆1容置并具有一开口部512，各晶圆1可经由对应容置槽511的开口部512容置于容置槽511内。驱动机构52用以驱动承载匣51在一浸泡于浸泡槽41内的浸泡位置(如图13所示)，及一经由上开口42移离出浸泡槽41外的进出料抬升位置(如图7所示)间运动，当承载匣51在进出料抬升位置时，所述容置槽511沿一上下方向Z排列，且各容置槽511呈水平状。借此，移载机械手臂2(如图1所示)输送至浸泡设备300的晶圆1不需额外通过其他夹持手臂的承接、移动及翻转等移载动作，便能直接地将晶本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种浸泡设备；其特征在于：该浸泡设备包含一储液筒，及一承载装置，该储液筒形成有一浸泡槽，及一连通于该浸泡槽顶端的上开口，该浸泡槽用以供一药液容置，该承载装置包括一可浸泡于该浸泡槽内的承载匣，及一设置于该储液筒与该承载匣间的驱动机构，该承载匣形成有多个相间隔排列的容置槽，各该容置槽用以供一晶圆容置，该驱动机构用以驱动该承载匣在一浸泡于该浸泡槽内的浸泡位置，及一经由该上开口移离出该浸泡槽外的进出料抬升位置间运动，当该承载匣在该进出料抬升位置时，所述容置槽沿一上下方向排列，且各该容置槽呈水平状。

【技术特征摘要】
1.一种浸泡设备；其特征在于：该浸泡设备包含一储液筒，及一承载装置，该储液筒形成有一浸泡槽，及一连通于该浸泡槽顶端的上开口，该浸泡槽用以供一药液容置，该承载装置包括一可浸泡于该浸泡槽内的承载匣，及一设置于该储液筒与该承载匣间的驱动机构，该承载匣形成有多个相间隔排列的容置槽，各该容置槽用以供一晶圆容置，该驱动机构用以驱动该承载匣在一浸泡于该浸泡槽内的浸泡位置，及一经由该上开口移离出该浸泡槽外的进出料抬升位置间运动，当该承载匣在该进出料抬升位置时，所述容置槽沿一上下方向排列，且各该容置槽呈水平状。2.根据权利要求1所述的浸泡设备，其特征在于：该驱动机构用以驱动该承载匣在该浸泡位置与该进出料抬升位置间转动，当该承载匣在该浸泡位置时，所述容置槽沿一垂直于该上下方向的前后方向排列，且各该容置槽呈竖直状。3.根据权利要求2所述的浸泡设备，其特征在于：该驱动机构包含一可转动地枢接于该储液筒的转轴、一固定地连接于该转轴与该承载匣间的连接板，及一用以驱动该转轴旋转的驱动马达。4.根据权利要求3所述的浸泡设备，其特征在于：该储液筒包括两个左右相间隔的侧壁，及一连接于该两侧壁前端的前壁，该转轴枢接于该两侧壁并邻近该前壁及该上开口，该承载匣包含一前板，该连接板固定地连接于该前板。5.根据权利要求1、2、3或4所述的浸泡设备，其特征在于：还包含一机台，及一门装置，该机台形成一用以供该储液筒及该承载装置容置的腔室，该门装置设置于该机台用以封闭该腔室，该门装置包括一移动板，及一门板，该移动板形成有...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓志明，
申请(专利权)人：亿力鑫系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71