定心装置及具有该定心装置的处理设备制造方法及图纸

一种定心装置，包含两个第一夹持总成及两个第二夹持总成，各第一夹持总成包括一第一夹持件，两第一夹持件用以导正并夹持第一晶圆的外周缘，使第一晶圆置中定位，各第二夹持总成包括一第二夹持件，两第二夹持总成的第二夹持件用以导正并夹持第二晶圆的外周缘，使第二晶圆置中定位，第二晶圆的尺寸与第一晶圆的尺寸不同，第二夹持件夹持第二晶圆的外周缘的夹持部位高度与第一夹持件夹持第一晶圆的外周缘的夹持部位高度相同，借此，第一、第二夹持件能在同一水平高度位置分别对不同尺寸的第一、第二晶圆进行置中定位。本申请还包括一种具有该定心装置的处理设备。

Centering device and processing apparatus having the same

A centering device, comprising two first clamping assembly two and second clamping assembly, the first clamping assembly includes a first clamping piece, the two first clamping piece for guiding and holding the outer periphery of the first wafer, the position of the first wafer, each holding second the assembly includes a second holding member two, second clamping assembly second clamping part with outer circumference to guide and clamping the second wafer, the wafer size in the second position, and the first second wafer wafer sizes of different parts and the height of the first clamping piece clamping an outer periphery of the first the wafer clamping position of the same height, thereby clamping peripheral second clamping part for clamping second wafer, the first and the second clamping pieces can be in the same horizontal height position respectively on the different sizes of the first and second wafer set position. The utility model also comprises a processing device with the centering device.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种应用于半导体制程中的定心装置，特别是涉及一种用以将晶圆置中定位的定心装置及具有该定心装置的处理设备。
技术介绍
在半导体制程中，通常是通过一机械手臂将晶圆移载至一处理装置的一承载盘上，借由两个夹爪夹持并导正晶圆，使晶圆准确地置中定位于承载盘上。借此，承载盘能带动晶圆旋转以进行后续的加工处理。各夹爪具有一第一夹持表面，及一间隔位于第一夹持表面外侧的第二夹持表面，第二夹持表面的高度高于第一夹持表面的高度，两者间存在有高度差。两个夹爪的第一夹持表面用以夹持一小尺寸晶圆，而两个夹爪的第二夹持表面用以夹持一大尺寸晶圆。当承载盘欲承接小尺寸晶圆时，承载盘需上升至一与第一夹持表面高度相当的第一高度位置，此时两第一夹持表面才能顺利地夹持小尺寸晶圆。当承载盘欲承接大尺寸晶圆时，承载盘需上升至一与第二夹持表面高度相当且高度高于第一高度位置的第二高度位置，此时两第二夹持表面才能顺利地夹持大尺寸晶圆。受限于夹爪的第一、第二夹持表面的高度差关系，承载盘需移动不同的高度以配合第一、第二夹持表面的高度位置，如此，夹爪才能夹持并导正不同尺寸的晶圆。在制程中通过相同的处理装置来处理不同尺寸的晶圆时，承载盘的高度位置必需配合欲处理的晶圆的尺寸作调整，因此，易耗费制程工时并造成生产效率下降。
技术实现思路
本专利技术的一目的，在于提供一种定心装置，能在同一水平高度位置分别对不同尺寸的晶圆进行置中定位。本专利技术的目的及解决
技术介绍
问题是采用于下技术方案来实现的，依据本专利技术提出的定心装置包含两个第一夹持总成，及两个第二夹持总成。各该第一夹持总成包括一第一夹持件，该两第一夹持总成的该第一夹持件可分别朝相反方向移动而相互靠近或远离，该两第一夹持总成的该第一夹持件用以导正并夹持一承载盘所承载的一第一晶圆的一外周缘，使该第一晶圆置中定位，各该第二夹持总成包括一第二夹持件，该两第二夹持总成的该第二夹持件可分别朝相反方向移动而相互靠近或远离，该两第二夹持总成的该第二夹持件用以导正并夹持该承载盘所承载的一第二晶圆的一外周缘，使该第二晶圆置中定位，该第二晶圆的尺寸与该第一晶圆的尺寸不同，该第二夹持件夹持该第二晶圆的该外周缘的夹持部位高度与该第一夹持件夹持该第一晶圆的该外周缘的夹持部位高度相同。该第一夹持件包含多个用以夹持该第一晶圆的该外周缘的第一夹持轮，所述第一夹持轮彼此相间隔并排列呈弧形状，该第二夹持件包含多个用以夹持该第二晶圆的该外周缘的第二夹持轮，所述第二夹持轮彼此相间隔并排列呈弧形状，所述第二夹持轮的高度与所述第一夹持轮的高度相同。各该第二夹持总成设置于对应的该第一夹持总成的该第一夹持件顶端，所述第一、第二夹持轮呈交错状排列。该第一夹持件还包含一第一爪部，该第一爪部包括一顶面，所述第一夹持轮枢接于该顶面，该第二夹持件还包含一第二爪部，该第二爪部包括一底面，所述第二夹持轮枢接于该底面。该第一夹持件还包含一与该第一爪部相连接的第一臂部，该第一臂部包括一上表面，各该第一夹持总成还包括一与该第一臂部相连接的第一驱动单元，该第一驱动单元用以驱动对应的该第一夹持件移动，该第二夹持件还包括一与该第二爪部相连接的第二臂部，各该第二夹持总成还包括一与该第二臂部相连接的第二驱动单元，该第二驱动单元设置于对应的该第一臂部的该上表面，该第二驱动单元用以驱动对应的该第二夹持件移动。该第一驱动单元用以驱动对应的该第一夹持件在一第一初始位置，及一夹持该第一晶圆的该外周缘的第一夹持位置间移动，该第二驱动单元用以驱动对应的该第二夹持件在一第二初始位置，及一第二夹持位置间移动，当该第二夹持件位在该第二初始位置时，该第二爪部位在对应的该第一爪部上方，各该第二夹持轮位于对应的两个相邻的第一夹持轮间，当该第二夹持件位在该第二夹持位置时，该第二臂部位在对应的该第一爪部上方，该第二爪部凸伸出对应的该第一爪部内侧且所述第二夹持轮夹持该第二晶圆的该外周缘。该第一驱动单元包含一导轨、一可滑动地连接于该导轨的滑动件、一与该滑动件螺接的导螺杆，及一用以驱动该导螺杆转动的马达，该两第一夹持件其中一个的该第一臂部固定地连接于对应的该滑动件顶端，该两第一夹持件其中另一个的该第一臂部可滑动地连接于对应的另一个该滑动件顶端，该两第一夹持件其中另一个的该第一臂部的一外侧端与对应的另一个该滑动件的一挡板间设有一压缩弹簧。各该第二夹持总成设置于对应的该第一夹持总成的该第一夹持件顶端，各该第一夹持总成还包括一与该第一夹持件相连接的第一驱动单元，该第一驱动单元用以驱动对应的该第一夹持件移动，各该第二夹持总成还包括一与该第二夹持件相连接的第二驱动单元，该第二驱动单元设置于对应的该第一夹持件的一上表面，该第二驱动单元用以驱动对应的该第二夹持件移动。本专利技术的另一目的，即在提供一种具有定心装置的处理设备，其定心装置能在同一水平高度位置分别对不同尺寸的晶圆进行置中定位，借此能缩短制程工时并提升生产效率。本专利技术的又一目的，即在提供一种具有定心装置的处理设备，便于清洁、维护及保养。本专利技术的目的及解决
技术介绍
问题是采用于下技术方案来实现的，依据本专利技术提出的具有定心装置的处理设备包括一机座、一承载装置，及一定心装置。该承载装置包含一设置于该机座的外壳罩，及一设置于该机座的旋转机构，该外壳罩罩设于该旋转机构外周围，该旋转机构包括一可凸伸出该外壳罩顶端的承载盘，该承载盘用以承载一第一晶圆，或是一尺寸与该第一晶圆的尺寸不同的第二晶圆，该第一、第二晶圆分别具有一外周缘，该定心装置包含两个第一夹持总成，及两个第二夹持总成，该两个第一夹持总成设置于该机座且位于该外壳罩左右两侧，各该第一夹持总成包括一第一夹持件，该两第一夹持总成的该第一夹持件可分别朝相反方向移动而相互靠近或远离，该两第一夹持总成的该第一夹持件用以导正并夹持该承载盘所承载的该第一晶圆的该外周缘，使该第一晶圆置中定位，各该第二夹持总成包括一第二夹持件，该两第二夹持总成的该第二夹持件可分别朝相反方向移动而相互靠近或远离，该两第二夹持总成的该第二夹持件用以导正并夹持该承载盘所承载的该第二晶圆的该外周缘，使该第二晶圆置中定位，该第二夹持件夹持该第二晶圆的该外周缘的夹持部位高度与该第一夹持件夹持该第一晶圆的该外周缘的夹持部位高度相同。该第一夹持件包含多个用以夹持该第一晶圆的该外周缘的第一夹持轮，所述第一夹持轮彼此相间隔并排列呈弧形状，该第二夹持件包含多个用以夹持该第二晶圆的该外周缘的第二夹持轮，所述第二夹持轮彼此相间隔并排列呈弧形状，所述第二夹持轮的高度与所述第一夹持轮的高度相同。各该第二夹持总成设置于对应的该第一夹持总成的该第一夹持件顶端，所述第一、第二夹持轮呈交错状排列。该第一夹持件还包含一第一爪部，该第一爪部包括一顶面，所述第一夹持轮枢接于该顶面，该第二夹持件还包含一第二爪部，该第二爪部包括一底面，所述第二夹持轮枢接于该底面。该第一夹持件还包含一与该第一爪部相连接的第一臂部，该第一臂部包括一上表面，各该第一夹持总成还包括一与该第一臂部相连接的第一驱动单元，该第一驱动单元用以驱动对应的该第一夹持件移动，该第二夹持件还包括一与该第二爪部相连接的第二臂部，各该第二夹持总成还包括一与该第二臂部相连接的第二驱动单元，该第二驱动单元设置于对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种定心装置；其特征在于：该定心装置包含两个第一夹持总成，及两个第二夹持总成，各该第一夹持总成包括一第一夹持件，该两第一夹持总成的该第一夹持件可分别朝相反方向移动而相互靠近或远离，该两第一夹持总成的该第一夹持件用以导正并夹持一承载盘所承载的一第一晶圆的一外周缘，使该第一晶圆置中定位，各该第二夹持总成包括一第二夹持件，该两第二夹持总成的该第二夹持件可分别朝相反方向移动而相互靠近或远离，该两第二夹持总成的该第二夹持件用以导正并夹持该承载盘所承载的一第二晶圆的一外周缘，使该第二晶圆置中定位，该第二晶圆的尺寸与该第一晶圆的尺寸不同，该第二夹持件夹持该第二晶圆的该外周缘的夹持部位高度与该第一夹持件夹持该第一晶圆的该外周缘的夹持部位高度相同。

【技术特征摘要】
2015.10.21 TW 1041345231.一种定心装置；其特征在于：该定心装置包含两个第一夹持总成，及两个第二夹持总成，各该第一夹持总成包括一第一夹持件，该两第一夹持总成的该第一夹持件可分别朝相反方向移动而相互靠近或远离，该两第一夹持总成的该第一夹持件用以导正并夹持一承载盘所承载的一第一晶圆的一外周缘，使该第一晶圆置中定位，各该第二夹持总成包括一第二夹持件，该两第二夹持总成的该第二夹持件可分别朝相反方向移动而相互靠近或远离，该两第二夹持总成的该第二夹持件用以导正并夹持该承载盘所承载的一第二晶圆的一外周缘，使该第二晶圆置中定位，该第二晶圆的尺寸与该第一晶圆的尺寸不同，该第二夹持件夹持该第二晶圆的该外周缘的夹持部位高度与该第一夹持件夹持该第一晶圆的该外周缘的夹持部位高度相同。2.根据权利要求1所述的定心装置，其特征在于：该第一夹持件包含多个用以夹持该第一晶圆的该外周缘的第一夹持轮，所述第一夹持轮彼此相间隔并排列呈弧形状，该第二夹持件包含多个用以夹持该第二晶圆的该外周缘的第二夹持轮，所述第二夹持轮彼此相间隔并排列呈弧形状，所述第二夹持轮的高度与所述第一夹持轮的高度相同。3.根据权利要求2所述的定心装置，其特征在于：各该第二夹持总成设置于对应的该第一夹持总成的该第一夹持件顶端，所述第一、第二夹持轮呈交错状排列。4.根据权利要求3所述的定心装置，其特征在于：该第一夹持件还包含一第一爪部，该第一爪部包括一顶面，所述第一夹持轮枢接于该顶面，该第二夹持件还包含一第二爪部，该第二爪部包括一底面，所述第二夹持轮枢接于该底面。5.根据权利要求4所述的定心装置，其特征在于：该第一夹持件还包含一与该第一爪部相连接的第一臂部，该第一臂部包括一上表面，各该第一夹持总成还包括一与该第一臂部相连接的第一驱动单元，该第一驱动单元用以驱动对应的该第一夹持件移动，该第二
\t夹持件还包括一与该第二爪部相连接的第二臂部，各该第二夹持总成还包括一与该第二臂部相连接的第二驱动单元，该第二驱动单元设置于对应的该第一臂部的该上表面，该第二驱动单元用以驱动对应的该第二夹持件移动。6.根据权利要求5所述的定心装置，其特征在于：该第一驱动单元用以驱动对应的该第一夹持件在一第一初始位置，及一夹持该第一晶圆的该外周缘的第一夹持位置间移动，该第二驱动单元用以驱动对应的该第二夹持件在一第二初始位置，及一第二夹持位置间移动，当该第二夹持件位在该第二初始位置时，该第二爪部位在对应的该第一爪部上方，各该第二夹持轮位于对应的两个相邻的第一夹持轮间，当该第二夹持件位在该第二夹持位置时，该第二臂部位在对应的该第一爪部上方，该第二爪部凸伸出对应的该第一爪部内侧且所述第二夹持轮夹持该第二晶圆的该外周缘。7.根据权利要求5所述的定心装置，其特征在于：该第一驱动单元包含一导轨、一可滑动地连接于该导轨的滑动件、一与该滑动件螺接的导螺杆，及一用以驱动该导螺杆转动的马达，该两第一夹持件其中一个的该第一臂部固定地连接于对应的该滑动件顶端，该两第一夹持件其中另一个的该第一臂部可滑动地连接于对应的另一个该滑动件顶端，该两第一夹持件其中另一个的该第一臂部的一外侧端与对应的另一个该滑动件的一挡板间设有一压缩弹簧。8.根据权利要求1所述的定心装置，其特征在于：各该第二夹持总成设置于对应的该第一夹持总成的该第一夹持件顶端，各该第一夹持总成还包括一与该第一夹持件相连接的第一驱动单元，该第一驱动单元用以驱动对应的该第一夹持件移动，各该第二夹持总成还包括一与该第二夹持件相连接的第二驱动单元，该第二驱动单元设置于对应的该第一夹持件的一上表面，该第二驱动单元用以驱动对应的该第二夹持件移动。9.一种具有定心装置的处理设备；其特征在于：该处理设备包括一机座、一承载装置，及一定心装置，该承载装置包含一设置于该机座的外壳罩，及一设置于该机座的旋转机构，该外壳罩罩设于该旋转机构外周围，该旋转机构包括一可凸伸出该
\t外壳罩顶端的承载盘，该承载盘用以承载一第一晶圆，或是一尺寸与该第一晶圆的尺寸不同的第二晶圆，该第一、第二晶圆分别具有一外周缘，该定心装置包含两个第一夹持总成，及两个第二夹持总成，该两个第一夹持总成设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓志明，陈绍禹，
申请(专利权)人：亿力鑫系统科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71