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一种定心装置，包含两个第一夹持总成及两个第二夹持总成，各第一夹持总成包括一第一夹持件，两第一夹持件用以导正并夹持第一晶圆的外周缘，使第一晶圆置中定位，各第二夹持总成包括一第二夹持件，两第二夹持总成的第二夹持件用以导正并夹持第二晶圆的外周缘，...
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