吸附单元、板状构件输送单元、树脂密封装置、板状构件输送方法以及树脂密封方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供吸附单元、板状构件输送单元、树脂密封装置、板状构件输送方法以及树脂密封方法。吸附单元(1)包括主体部(10)、主体部(10)的内部的中空的流路(5)、以及主体部的吸附面侧的吸附部(110)。在吸附部(110)设有通孔(45)，通孔(45)和流路(5)相连通。吸附部(110)构成为能够追随板状构件的弯曲。

Adsorption unit, plate element conveying unit, resin sealing device, plate shaped component conveying method and resin sealing method

The invention provides an adsorption unit, a plate element conveying unit, a resin sealing device, a plate member conveying method, and a resin sealing method. The adsorption unit (1) comprises a main part (10), a hollow flow path (5) inside the main body (10), and an adsorption part (110) on the adsorption side of the main body. A through hole (45) is provided at the adsorption part (110), and the through hole (45) is connected with the flow path (5). The adsorption part (110) is composed of bending which can follow the plate like component.

【技术实现步骤摘要】
吸附单元、板状构件输送单元、树脂密封装置、板状构件输送方法以及树脂密封方法
本专利技术涉及吸附单元、板状构件输送单元、树脂密封装置、板状构件输送方法以及树脂密封方法。
技术介绍
以往，针对各个电子零件进行树脂密封，但近年来，进行晶圆级封装(WLP)、即以搭载有多个电子零件的晶圆的状态进行树脂密封的情况正在变多。因此，在树脂密封装置中，要求具有用于在树脂密封前和树脂密封后保持并输送晶圆的吸附装置的情况正在增加。在日本特开2013－42017号公报中，记载有一种在顶端和根侧共三处形成有能够对工件的外周进行吸附的吸附孔和与该吸附孔相连通的抽吸路径的机械手。
技术实现思路
例如，在WLP中，在树脂密封前，在晶圆上搭载有例如电子零件等，但有时会因该搭载而使晶圆弯曲(变形)。另外，在树脂密封后将晶圆自成形模取出，之后，树脂密封后的晶圆被冷却而收缩，此时，因晶圆与密封树脂之间的热膨胀率(线膨胀系数)的差异，有时晶圆会发生弯曲(变形)。然而，对于以往的专利文献1所记载的晶圆保持装置，由于未设想到对弯曲了(变形了的)晶圆进行保持，因此有时无法稳定地保持晶圆。在此公开的实施方式提供一种吸附单元，该吸附单元包括主体部、主体部的内部的中空的流路、主体部的吸附面侧的吸附部，在吸附部设有通孔，通孔和流路相连通，吸附部构成为能够追随板状构件的弯曲。在此公开的实施方式提供一种吸附单元，该吸附单元包括主体部、主体部的内部的中空的流路、以及主体部的吸附面侧的吸附部，在吸附部设有通孔，通孔和流路相连通，吸附部包括吸盘，吸盘包括设有吸盘开口部的吸盘主体部、自吸盘主体部延展的吸盘外周部、以及自吸盘主体部的比吸盘外周部靠近位侧的部位起沿与吸盘外周部的延展方向不同的方向延展的吸盘内侧支承部，在吸盘内侧支承部设有缺口部，经由流路和通孔排出气体，并使气体自板状构件与缺口部之间排出，从而使板状构件吸附于吸附部，通过使板状构件吸附于吸附部，从而使吸盘弹性变形。在此公开的实施方式提供一种板状构件输送单元，该板状构件输送单元包括上述吸附单元和用于使吸附单元移动的移动单元。在此公开的实施方式提供一种树脂密封装置，该树脂密封装置包括上述板状构件输送单元和树脂密封单元。在此公开的实施方式提供一种板状构件输送方法，该板状构件输送方法包括以下工序：使上述吸附单元的吸附部位于板状构件上；通过经由通孔和流路排出气体，从而将板状构件吸附于吸附部；以及使吸附于吸附部的板状构件移动。在此公开的实施方式提供一种树脂密封方法，该树脂密封方法包括使用上述板状构件输送方法来输送板状构件的工序和进行树脂密封的工序。采用在此公开的实施方式，能够稳定地保持弯曲了的(变形了的)板状构件。本专利技术的上述目的、特征、技术方案、优点以及其他的目的、特征、技术方案、优点根据与附图相关联地理解的、与本专利技术相关的如下详细的说明而变得明确。附图说明图1是实施方式的吸附单元的示意性的俯视图。图2是图1所示的吸附单元的两叉状的顶端部分的一侧的示意性的放大俯视图。图3是沿着图2的III－III的示意性的剖视图。图4是沿着图2的IV－IV的示意性的剖视图。图5是吸盘外周部的远位端的示意性的放大剖视图。图6是表示实施方式的吸附单元吸附着作为弯曲了的板状构件而例示的晶圆的状态的示意性的剖视图。图7是吸附晶圆之前的、实施方式的吸附单元的示意性的剖视图。图8是吸附晶圆时的、实施方式的吸附单元的示意性的剖视图。图9的(a)是吸附面侧板的外表面的示意性的俯视图，图9的(b)是吸附面侧板的与外表面相反的一侧的内表面的示意性的俯视图。图10的(a)是背面侧板的内表面的示意性的俯视图，图10的(b)是背面侧板的与内表面相反的一侧的外表面的示意性的俯视图。图11的(a)是接合器的示意性的俯视图，图11的(b)是沿着图11的(a)的XIB－XIB的示意性的剖视图。图12是对实施方式的吸附单元的组装方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的剖视图。图13是使用有实施方式的吸附单元的、实施方式的树脂密封装置的示意性的结构图。图14的(a)是从侧面观察成形前晶圆收纳部时的示意性的透视图，图14的(b)是从正面观察成形前晶圆收纳部时的示意性的主视图。图15是对实施方式的树脂密封方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的俯视图。图16是对实施方式的树脂密封方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的俯视图。图17是对实施方式的树脂密封方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的俯视图。图18是对实施方式的树脂密封方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的俯视图。图19是对实施方式的树脂密封方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的俯视图。图20是对实施方式的树脂密封方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的俯视图。图21是对实施方式的树脂密封方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的俯视图。图22是对实施方式的树脂密封方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的俯视图。图23是对实施方式的树脂密封方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的俯视图。图24是对实施方式的树脂密封方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的俯视图。图25是对实施方式的树脂密封方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的俯视图。图26是对实施方式的树脂密封方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的俯视图。图27是对实施方式的树脂密封方法的一个例子中的工序的一部分进行图解的示意性的俯视图。图28是实施方式的吸附单元的变形例的示意性的俯视图。图29是实施方式的树脂密封装置的变形例的示意性的结构图。具体实施方式以下，说明实施方式。此外，在实施方式的说明所使用的附图中，同一附图标记表示相同部分或相当部分。在图1中示出作为本专利技术的吸附单元的一个例子的实施方式的吸附单元的示意性的俯视图。图1所示的吸附单元1包括：主体部10，其为两叉状；吸附部110，其设于构成主体部10的吸附面侧的吸附面侧板2；以及中空的流路5，其设于主体部10的内部。吸附部110包括吸盘3和用于支承吸盘3的接合器4。此外，主体部10的形状并不特别限定于两叉状。主体部10的形状也可以为例如棒状、C形状、圆形形状或矩形形状。在图2中示出图1所示的吸附单元1的两叉状的顶端部分的一侧的示意性的放大俯视图。另外，在图3中示出沿着图2的III－III的示意性的剖视图，在图4中示出沿着图2的IV－IV的示意性的剖视图。如图2～图4所示，在吸附部110的中心设有通孔45。以包围通孔45的周围的方式配置有吸盘3。吸盘3包括设有吸盘开口部35的吸盘主体部30、自吸盘主体部30的远位端起沿倾斜方向延展(扩展、延长、延伸、伸长)的吸盘外周部31、以及自吸盘主体部30的比吸盘外周部31靠近位侧的部位起向与吸盘外周部31的延展方向不同的方向延展的吸盘内侧支承部32。此外，“远位端”指的是距吸附部110的中心的通孔45较远的那一端和其周边部分，“近位端”指的是距吸附部110的中心的通孔45较近的那一端和其周边部分。另外，“远位侧”指的是距吸附部110的中心的通孔45较远的一侧，“近位侧”指的是距吸附部110的中心的通孔45较近的一侧。此外，吸盘外周部31自吸盘主体部30的远本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吸附单元，其中，该吸附单元包括主体部、所述主体部的内部的中空的流路、所述主体部的吸附面侧的吸附部，在所述吸附部设有通孔，所述通孔和所述流路相连通，所述吸附部构成为能够追随板状构件的弯曲。

【技术特征摘要】
2016.05.02 JP 2016-0926321.一种吸附单元，其中，该吸附单元包括主体部、所述主体部的内部的中空的流路、所述主体部的吸附面侧的吸附部，在所述吸附部设有通孔，所述通孔和所述流路相连通，所述吸附部构成为能够追随板状构件的弯曲。2.根据权利要求1所述的吸附单元，其中，所述吸附部包括吸盘，所述吸盘包括设有吸盘开口部的吸盘主体部和自所述吸盘主体部延展的吸盘外周部。3.根据权利要求2所述的吸附单元，其中，在吸附所述板状构件时，所述吸盘外周部的远位端的至少一部分的表面与所述板状构件相接触且能够追随所述板状构件的弯曲。4.根据权利要求3所述的吸附单元，其中，所述吸盘外周部的所述远位端包括自所述远位端向近位侧凹陷的远位端凹部。5.根据权利要求3所述的吸附单元，其中，在所述主体部的所述吸附面侧设有凹部，在吸附所述板状构件之前，所述吸盘外周部的所述远位端位于与所述凹部分开的位置，在吸附所述板状构件时，所述吸盘外周部的所述远位端位于与所述凹部相接触的位置。6.根据权利要求5所述的吸附单元，其中，所述凹部为环状的槽。7.根据权利要求2所述的吸附单元，其中，所述吸盘还包括自所述吸盘主体部的比所述吸盘外周部靠近位侧的部位起向与所述吸盘外周部的延展方向不同的方向延展的吸盘内侧支承部，在吸附所述板状构件时，所述吸盘内侧支承部与所述吸盘外周部一起支承所述板状构件。8.根据权利要求7所述的吸附单元，其中，在所述吸盘内侧支承部设有缺口部。9.根据权利要求2所述的吸附单元，其中，所述吸附部包括用于支承所述吸盘的接合器，所述接合器包括设有所述通孔的接合器主体部、自所述接合器主体部的所述通孔的一端起沿与所述主体部的靠所述吸附面侧的表面平行的方向延展的凸缘、以及自所述接合器主体部的所述通孔的另一端起沿与所述主体部的靠吸附面侧的表面平行的方向延展的接合器腿部，所述接合器腿部包括自所述接合器腿部的远位端起向所述凸缘的所在方向延展的突起部。10.根据权利要求9所...

【专利技术属性】
技术研发人员：尾张弘树，高田直毅，水间敬太，大庭亮人，
申请(专利权)人：东和株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP