【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种晶片安装设备，具体是一种用在晶片安装工序中，防止晶片掉片的真空控制系统。
技术介绍
晶片固定工序主要是吸取晶片并将晶片粘贴到基板上的过程。在晶片的吸取过程中因为真空阀的所产生的一系列问题可能会使晶片飞走，从而产生晶片掉片的现象。这样不仅对产品的良率有一定的影响，而且在不断出现错误并处理错误的过程中，对产量有很大影响，同时也导致操作人员的工作强度过大、效率不高，影响工作积极性。鉴于此，需要要对真空阀控制器改善工作。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种用于防止晶片掉片的真空控制系统，该真空控制系统主要稳定了吸取晶片时的真空值，减少了设备运行过程中晶片掉片的现象，同时也降低了操作人员的工作强度，提高了生产效率。按照本技术提供的技术方案用于防止晶片掉片的真空控制系统，其特征在于包括粘合工作台、放气阀、真空发生阀、固体继电器、直流电源和真空信号发生器，粘合工作台通过导管分别连接放气阀的充气口和真空发生阀的吸气口，放气阀和真空发生阀分别与固体继电器电气连接，通过固体继电器控制；固定继电器分别通过导线连接电源和真空信号发生器。作为本技术...
【技术保护点】
１．用于防止晶片掉片的真空控制系统，其特征在于：包括粘合工作台（１）、放气阀（５）、真空发生阀（６）、固体继电器（７）、直流电源（８）和真空信号发生器 （９），粘合工作台（１）通过导管（２）分别连接放气阀（５）的充气口和真空发生阀（６）的吸气口，放气阀（５）和真空发生阀（６）分别与固体继电器（７）电气连接，通过固体继电器（７）控制；固定继电器（７）分别通过导线连接电源（８）和真空信号发生器（９）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑昌荣，
申请(专利权)人：海太半导体无锡有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32
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