温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种用于防止晶片掉片的真空控制系统。其包括粘合工作台、放气阀、真空发生阀、固体继电器、直流电源和真空信号发生器，粘合工作台通过导管分别连接放气阀的充气口和真空发生阀的吸气口，放气阀和真空发生阀分别与固体继电器电气连接，通过固体...
该专利属于海太半导体（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海太半导体（无锡）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。