【技术实现步骤摘要】
：本技术涉及一种太阳能电池等离子刻蚀机的硅片加压装置，属于太阳能电池等离子刻蚀机的一种夹具。
技术介绍
：太阳能电池实际上是一个面积比较大的非线性PN结，在制作过程中，需要将扩散工序中形成的硅边缘P-N结去除，否则，将导致电池正负极之间并联电阻过小，漏电流过大，影响电池的输出特性。在大规模生产中，一般用CF4在高频电场中电离，产物与Si反应生成SiF4的方式来去除边缘PN结。因而反应过程中需将硅片层叠压紧，否则，硅表面的扩散层也将会部分去除，从而减小太阳能电池的有效面积，使其短路电流降低。在太阳能电池等离子刻蚀机中，现有的太阳能电池等离子刻蚀夹具，其加压装置存在不能精确加压的严重问题，加在整叠硅片两侧的压力大小全凭个人经验，既不能准确控制整叠硅片的压力，也不能保证硅片四周的压力相平衡，使刻蚀效果不一致，不能准确控制产品质量。
技术实现思路
：为了解决上述问题，本技术提供了一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具。它可精确控制整叠硅片的施加压力大小，制作的太阳能电池边缘几乎看不到刻蚀环的影响，色差非常小。本技术所采用的技术方案是：本技术所述的等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，其特征是：包括夹具体、立柱螺杆、复位弹簧、压板、收紧螺母和数控扭力扳手，两根立柱螺杆的下端固定在夹具体上，在两根立柱螺杆的上段设有螺纹，复位弹簧套装在立柱螺杆的上段，压板套装在两根立柱螺杆上，并由收紧螺母收紧，收紧螺母由数控扭力扳手定扭矩收紧。进一步，在压板上设有把手。由于整叠硅片放置在夹具体和压板之间，而压板套装在两根立柱螺杆上，并由两只收紧螺母通过数控扭力扳手进行定扭矩收紧，从而实现压板对整叠硅片的定...
【技术保护点】
１．一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，其特征是：包括夹具体（１）、立柱螺杆（２）、复位弹簧（３）、压板（４）、收紧螺母（５）和数控扭力扳手（６），两根立柱螺杆（２）的下端固定在夹具体（１）上，在两根立柱螺杆（２）的上段设有螺纹，复位弹簧（３）套装在立柱螺杆（２）的上段，压板（４）套装在两根立柱螺杆（２）上，并由收紧螺母（５）收紧，收紧螺母（５）由数控扭力扳手（６）定扭矩收紧。
【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，其特征是：包括夹具体(1)、立柱螺杆(2)、复位弹簧(3)、压板(4)、收紧螺母(5)和数控扭力扳手(6)，两根立柱螺杆(2)的下端固定在夹具体(1)上，在两根立柱螺杆(2)的上段设有螺纹，复位弹簧...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋佳，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32
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